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龙图腾网获悉泉州师范学院申请的专利基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112067551B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010753504.6，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置与方法是由郑恒;陈武;颜少彬;段亚凡;廖廷俤设计研发完成，并于2020-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置与方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置与方法，包括光源、纵向同轴设置的相机、远心成像镜头、半透半反射平行平板合像器以及玻璃载物转盘、半导体晶粒，半透半反射平行平板合像器同一水平高度设置有平行平板补偿器及位于半导体晶粒正上方的天面直角转向棱镜，半导体晶粒同一水平高度与半透半反射平行平板合像器正下方设置有侧面直角转向棱镜，该装置在满足双面成像完全等光程共焦的条件下，获得相邻面的空间分离成像，能通过调节平行平板补偿器与光轴的夹角来校正补偿误差，从而可以实现半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测，结构简单紧凑，装配调试容易，可靠性佳。

本发明授权基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置与方法在权利要求书中公布了：1.基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置，其特征在于，包括在光路方向上依次设置的CMOS或CCD相机、远心成像镜头、半透半反射平行平板合像器以及玻璃载物转盘、置于玻璃载物转盘上的半导体晶粒，在半导体晶粒与半透半反射平行平板合像器之间的光路上分别依次设有天面直角转像棱镜、平行平板补偿器和侧面直角转向棱镜，侧面直角转像棱镜和天面直角转像棱镜分别位于半导体晶粒的正侧部和天面正上方，所述天面直角转向棱镜与平行平板补偿器、半透半反射平行平板合像器位于同一水平高度，侧面直角转像棱镜与半透半反射平行平板合像器位于远心成像镜头的光轴上，同时侧面直角转像棱镜的第一直角面与半透半反射平行平板合像器的第一面相对，侧面直角转像棱镜的第二直角面与半导体晶粒侧面相对，侧面直角转像棱镜的斜面与远心成像镜头光轴倾斜设置； 天面直角转像棱镜的两个直角面分别与半导体晶粒的天面和半透半反射平行平板合像器的第二面相对；半透半反射平行平板合像器背离第二面旁侧设有同轴外置照明光源； 所述光源经半透半反射平行平板合像器分离为水平第一光路及纵向的第二光路，第一光路经第一直角转像棱镜后照明位于玻璃载物转盘半导体晶粒的天面；第二光路经第二直角转像棱镜后照明待测半导体晶粒的侧面； 半导体晶粒天面的成像光束经第一直角转像棱镜入射到平行平板补偿器上，再经过平行平板补偿器平行出射的产生了一个s的位移，然后经半透半反射平行平板合像器反射抵达参考输出面上； 半导体晶粒侧面的成像光束经第二直角转像棱镜反射转向，再经半透半反射平行平板合像器透射抵达参考输出面上；相机获得双面各自独立的像; 所述天面直角转向棱镜与侧面直角转向棱镜的棱镜直角边长d相同，半导体晶粒位于玻璃载物转盘中心，半透半反射平行平板合像器中心、天面直角转向棱镜与侧面直角转向棱镜的反射面中心及半导体晶粒中心相连形成一个边长为D2+d的方形对称光路结构，D为玻璃载物转盘宽度; 半透半反射平行平板合像器中心与侧面直角转向棱镜斜面中心距离D2+d，半导体晶粒侧面的成像光路工作距WD=D2+d2,半透半反射平行平板合像器与天面直角转向棱镜斜面在同一水平高度上，二者距离D2+d，半导体晶粒天面成像光路工作距离WD=D2+d2; 天面直角转像棱镜的尺寸为15*15*15mm，侧面直角转像棱镜的尺寸15*15*15mm; 平行平板补偿器使半导体晶粒天面成像光束产生了一段平行位移s，其s的大小取决于玻璃平行平板补偿器的厚度h，半透半反射平行平板合像器厚度为玻璃折射率n1以及玻璃平行平板补偿器表面法线与光轴之间的夹角θ1，平行平板补偿器的材料为K9玻璃; 平行平板补偿器产生的双像分离s=1.5mm，焦距f=51.5mm，WD=110mm。

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