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龙图腾网获悉上海邦芯半导体设备有限公司申请的专利感性耦合反应器及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111769062B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010733754.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权感性耦合反应器及其工作方法是由吴堃;杨猛设计研发完成，并于2020-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本感性耦合反应器及其工作方法在说明书摘要公布了：一种感性耦合反应器及其工作方法，感性耦合反应器包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元；所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的射频天线，所述射频天线包括有效射频天线，所述有效射频天线的高度可调。所述感性耦合反应器能加强对等离子体分布的控制能力。

本发明授权感性耦合反应器及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种感性耦合反应器，其特征在于，包括： 反应腔主体； 位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元； 所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的射频天线，所述射频天线为具有多匝连续的盘香型线圈，所述射频天线环绕所述反应室介质管，所述射频天线包括有效射频天线，所述有效射频天线的高度可调，以通过所述有效射频天线位置的变化使得所述反应室介质管内部的等离子体密度分布可调； 位于所述反应室介质管顶部的进气通道，所述进气通道适于通入刻蚀晶圆的刻蚀气体至所述反应室介质管中； 所述射频天线和所述有效射频天线一致；所述感性耦合射频单元还包括：位于所述屏蔽罩内部的天线高度调节器，所述天线高度调节器适于在纵向调节所述射频天线的位置； 所述射频天线环绕所述反应室介质管且具有多匝连续的线圈；所述射频天线具有第一天线终端和第二天线终端； 所述感性耦合射频单元还包括：射频源；射频匹配器，所述射频匹配器的一端与所述射频源连接，所述射频匹配器的另一端与所述第一天线终端连接；电压平衡电容，所述电压平衡电容的一端与所述第二天线终端连接，所述电压平衡电容的另一端接地； 所述射频天线具有第一天线终端和第二天线终端以及位于所述第一天线终端和第二天线终端之间的多个中间连接端；所述第一天线终端为所述有效射频天线的输入端，第二天线终端或者任一中间连接端为所述有效射频天线的输出端。

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