格科微电子(上海)有限公司徐涛获国家专利权
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龙图腾网获悉格科微电子(上海)有限公司申请的专利图像传感器形成方法及其图像传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113921541B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010655916.6,技术领域涉及:H10F39/18;该发明授权图像传感器形成方法及其图像传感器是由徐涛;付文;郑展设计研发完成,并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像传感器形成方法及其图像传感器在说明书摘要公布了:本发明提供一种图像传感器形成方法及其图像传感器,所述图像传感器形成方法包括:于像素区域上方形成金属网格结构;于相邻金属网格之间形成岛状结构;沉积微透镜材料,覆盖所述金属网格结构与所述岛状结构,于相邻金属网格之间形成嵌入式凸形微透镜。本发明通过形成金属网格以及位于金属网格中的岛状结构,一次成型凸形微透镜,减少工艺流程;微透镜四周具有金属网格,可以减少光线串扰,提高光学响应以及改善信噪比。
本发明授权图像传感器形成方法及其图像传感器在权利要求书中公布了:1.一种图像传感器形成方法,其特征在于,该方法至少包括: 于像素区域上方形成金属网格结构; 沉积顶介质层覆盖并填充所述金属网格结构,通过光刻刻蚀工艺,于相邻金属网格之间形成岛状结构; 于以上步骤形成的结构表面沉积微透镜材料,覆盖所述金属网格结构与所述岛状结构,于相邻金属网格之间一次成型形成嵌入式凸形微透镜。
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