拓荆科技股份有限公司杨华龙获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113838788B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010593931.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法是由杨华龙;杨德赞;刘闻敏;吴凤丽设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法在说明书摘要公布了：一种晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法，该系统包括：真空腔室，其中具有多个晶圆承载工位；多个第一桨和第二桨，其均位于真空腔室内且能够分别同步旋转，且每一第二桨与相应第一桨构成一对桨，以共同承载一晶圆；双套磁流体，其与真空腔室密封连接，且连接至多个第一桨和多个第二桨，以驱动其中的一者或两者旋转；第一驱动机构，其连接于双套磁流体，以通过双套磁流体驱动多个第一桨和多个第二桨同步同向旋转；及第二驱动机构，其也连接于双套磁流体，以通过双套磁流体实现多个第一桨和多个第二桨之间的相对旋转。该系统能减少晶元在传送过程中的运动步骤，因而提高晶圆的传送精度和稳定性，减小其位置误差。
本发明授权晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动承载系统，其包括： 真空腔室1，其中具有多个晶圆承载工位11； 多个第一桨2，其位于所述真空腔室1内且能够同步旋转； 多个第二桨3，其也位于所述真空腔室1内且也能够同步旋转，其中所述多个第二桨3中的每一者分别与所述多个第一桨2中的相应一者构成一对桨，以共同承载一晶圆； 双套磁流体4，其与所述真空腔室1密封连接，且连接至所述多个第一桨2和所述多个第二桨3，以驱动其中的一者或两者旋转； 第一驱动机构5，其连接于所述双套磁流体4，以通过所述双套磁流体4驱动所述多个第一桨2和所述多个第二桨3同步同向旋转；及 第二驱动机构6，其也连接于所述双套磁流体4，以通过所述双套磁流体4实现所述多个第一桨2和所述多个第二桨3之间的相对旋转。
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