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济南晶正电子科技有限公司王金翠获国家专利权

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龙图腾网获悉济南晶正电子科技有限公司申请的专利一种用于端面抛光的夹具及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111451919B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010361380.7,技术领域涉及:B24B29/02;该发明授权一种用于端面抛光的夹具及其使用方法是由王金翠;胡卉;张秀全;朱厚彬;李真宇设计研发完成,并于2020-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于端面抛光的夹具及其使用方法在说明书摘要公布了:本申请公开一种用于端面抛光的夹具及其使用方法,夹具包括:容置槽体、上护板、砝码柱和若干个砝码;所述容置槽体包括底板和侧板,所述侧板上设置有至少三个调节螺钉;所述上护板位于所述容置槽体内,且所述上护板与所述调节螺钉垂直;所述砝码柱固定在所述底板,且与所述底板垂直;所述砝码的中心设置有套孔,通过所述套孔,所述砝码套设在所述砝码柱上。以解决现有夹具无法实现在不同抛光阶段对样品施加不同压力的问题。

本发明授权一种用于端面抛光的夹具及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种用于端面抛光的夹具,其特征在于,所述用于端面抛光的夹具的应用对象为无解理面晶体材料晶圆,所述夹具包括:容置槽体(1)、上护板(2)、砝码柱(3)和若干个砝码(4); 所述容置槽体(1)包括底板(11)和侧板(12),所述侧板(12)上设置有至少三个调节螺钉(121);所述上护板(2)位于所述容置槽体(1)内,且所述上护板(2)与所述调节螺钉(121)垂直;所述砝码柱(3)固定在所述底板(11)上,且与所述底板(11)垂直; 所述砝码(4)的中心设置有套孔(41),通过所述套孔(41),所述砝码(4)套设在所述砝码柱(3)上; 所述套孔(41)在所述底板(11)上的正投影覆盖所述砝码柱(3)在所述底板(11)上的正投影;所述底板(11)在所述砝码柱(3)延伸方向上的投影覆盖套设在所述砝码柱(3)上的所述砝码(4);通过调整套在砝码柱(3)上的砝码(4)的个数,或者选择不同重量级的砝码(4)套设在砝码柱(3)上,能够调节压在样品上的砝码(4)重量,以在不同抛光阶段对样品施加不同的压力,或在不同样品抛光过程中对样品施加所需压力;其中,针对不同样品制定砝码重量与压力值的对应关系表,以在所述对应关系表中查找不同抛光阶段所需压力对应的重量,根据所需压力对应的重量在砝码柱上套设砝码,进行该阶段的抛光; 还包括下护板(5),所述下护板(5)位于所述容置槽体(1)内,且与所述上护板(2)相对设置; 所述上护板(2)和所述下护板(5)的相对面均设置有缓冲层(6)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人济南晶正电子科技有限公司,其通讯地址为:250100 山东省济南市高新区港兴三路北段1号济南药谷研发平台1号楼B1806;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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