东台镭创光电技术有限公司孔剑获国家专利权
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龙图腾网获悉东台镭创光电技术有限公司申请的专利一种晶圆夹持装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110993555B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911201117.5，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆夹持装置是由孔剑;臧晓园;徐晨晨;刘景业设计研发完成，并于2019-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹持装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆夹持装置，包括夹持臂、连接组件和至少三个晶圆夹钩；所述夹持臂的侧面设有吸气口，所述夹持臂内部安装有与所述吸气口相连的抽气机构；所述连接组件包括与所述夹持臂底部固接的竖轴、与所述竖轴垂直固接的横轴以及设于所述横轴外围的圆环，所述圆环能够以横轴为中心转动；所述晶圆夹钩安装于所述圆环且能够相对圆环移动。本发明能够高效夹取竖向或横向放置的晶圆。
本发明授权一种晶圆夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括夹持臂、连接组件和至少三个晶圆夹钩； 所述夹持臂的侧面设有吸气口，所述夹持臂内部安装有与所述吸气口相连的抽气机构； 所述连接组件包括与所述夹持臂底部固接的竖轴、与所述竖轴垂直固接的横轴以及设于所述横轴外围的圆环，所述圆环能够以横轴为中心转动； 所述晶圆夹钩安装于所述圆环且能够相对圆环移动； 所述晶圆夹钩包括固定连接的套环、连杆、旋转轴以及与旋转轴转动相连的钩体； 所述晶圆夹钩还包括用于固定所述旋转轴和所述钩体的固定锁，所述固定锁包括转杆以及通过转杆形成转动连接的固定块和卡块，所述卡块端部设有能够与所述旋转轴卡合的卡槽； 所述夹持臂相对所述吸气口的一侧面设有能够卡合晶圆夹钩的凹槽。
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