应用材料公司O·卢尔获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108376657B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201711214844.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极是由O·卢尔;L·多尔夫;S·斯里尼瓦杉;R·丁德萨;J·罗杰斯;D·M·库萨设计研发完成，并于2017-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极在说明书摘要公布了：本文中描述的实施例大体涉及一种基板处理设备。在一个实施例中，本文中公开了一种用于基板处理腔室的工艺套件。工艺套件包括：环，环具有第一环部件和第二环部件；可调整调谐环；以及致动机构。第一环部件与第二环部件对接，使得第二环部件相对于第一环部件是可移动的，从而在这两者之间形成间隙。可调整调谐环定位在环下方并且接触第二环部件的底表面。可调整调谐环的顶表面接触第二环部件。致动机构与可调整调谐环的底表面对接。致动机构被配置为致动可调整调谐环，使得第一环部件与第二环部件之间的间隙变化。
本发明授权用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极在权利要求书中公布了：1.一种用于基板处理腔室的工艺套件，所述工艺套件包括： 边缘环，所述边缘环具有第一环部件和第二环部件，所述第一环部件与所述第二环部件对接，使得所述第二环部件相对于所述第一环部件是可移动的，从而在这两者之间形成间隙； 可调整调谐环，所述可调整调谐环被定位在所述边缘环下方并且接触所述第二环部件的底表面，所述可调整调谐环具有有顶表面和底表面的环形主体、形成在所述环形主体的底表面中的空腔、以及形成在所述环形主体中的进出孔口，所述进出孔口从所述环形主体的所述顶表面延伸到所述空腔中，所述环形主体的所述顶表面接触所述第二环部件；以及 致动机构，所述致动机构与所述可调整调谐环的所述环形主体的底表面对接，所述致动机构被配置为致动所述可调整调谐环，使得所述第一环部件与所述第二环部件之间的所述间隙变化。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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