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龙图腾网获悉名正(浙江)电子装备有限公司;安徽名正电子装备有限公司申请的专利一种基于拉力传感器的晶圆研磨抛光调节控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120516574B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511021588.3，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种基于拉力传感器的晶圆研磨抛光调节控制系统是由郑勇;魏永利;高敬帅设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于拉力传感器的晶圆研磨抛光调节控制系统在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工领域，公开了一种基于拉力传感器的晶圆研磨抛光调节控制系统，包括加工压力采集模块，获取重物重力并基于拉力传感器实时采集电缸拉力，通过公式计算加工压力，同时实时采集晶圆的研磨状态参数；加工压力稳定性分析模块包含第一分析单元和第二分析单元：第一分析单元，计算加工压力在预设监测周期内的累积变化量并与变化阈值比对，发出告警信号；第二分析单元将研磨状态参数输入研磨状态模型分析研磨状态值，反向评估研磨盘状态；调节控制模块基于第一分析单元调节电缸拉力，基于第二分析单元判断是否更换研磨盘。本发明实现了加工压力的精准监测与稳定性控制，并能有效评估研磨盘状态，提升晶圆研磨抛光质量与效率。

本发明授权一种基于拉力传感器的晶圆研磨抛光调节控制系统在权利要求书中公布了：1.一种基于拉力传感器的晶圆研磨抛光调节控制系统，其特征在于，包括： 加工压力采集模块，获取重物重力并基于拉力传感器实时采集电缸拉力，通过公式计算加工压力：加工压力＝重物重力－电缸拉力；及实时采集晶圆的研磨状态参数； 加工压力稳定性分析模块，包括： 第一分析单元，获取加工压力在预设监测周期内的累积变化量K1，将累积变化量K1与历史数据分析确定的变化阈值K0比对，当K1≥K0时，发出告警信号； 第二分析单元，将晶圆的研磨状态参数输入研磨状态模型进行分析，得到研磨状态值；通过研磨状态值对研磨盘的状态进行反向评估； 所述研磨状态参数包括：晶圆厚度在线测量值、研磨盘振动频谱及抛光液流量； 所述研磨状态模型的表达式为： ； 其中，为监测周期内晶圆厚度在线测量值的标准差，为监测周期内晶圆厚度在线测量值的均值，为研磨盘振动频谱的均方根值，为设备空载基准振动值，为实时抛光液流量，为工艺设定最优流量，、分别为流量安全阈值的上下限，、为权重系数； 所述通过研磨状态值对研磨盘状态进行反向评估的过程包括： 获取研磨盘初始寿命基准值L0和寿命衰减系数g；其中，L0基于历史数据确定； 通过公式：计算得到研磨盘剩余寿命指数； 其中，为研磨状态初始阈值，为研磨状态失效阈值； 调节控制模块，基于第一分析单元的告警信号对电缸拉力进行调节，基于第二分析单元的反向评估结果判断研磨盘是否进行更换。

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