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江苏旭邦光电科技有限公司殷建获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏旭邦光电科技有限公司申请的专利一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120521386B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511026075.1,技术领域涉及:F27B5/05;该发明授权一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉是由殷建;庞佳佳;周乐设计研发完成,并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体加工技术领域,且公开了一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉,包含保温烘干炉和高温烧结炉的嵌套结构,两者间设旋转烘干架,分别通过导轨驱动机构控制炉门开合,保温烘干炉外覆陶瓷纤维保温层,高温烧结炉采用钼合金内衬;真空泵组合实现高真空,炉门采用全氟醚橡胶三重密封,旋转烘干架和烧结架分别配备石英舟,丝杆导轨驱动机构保障高精度定位,工作时,两炉体协同运行,先在保温烘干炉内完成废液瓶烘干预热,再转移至高温烧结炉烧结,真空夹层隔热使能耗降低,杂质挥发率提高,有效实现石英废液瓶的高效节能回收。

本发明授权一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉在权利要求书中公布了:1.一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉,其特征在于,包括:保温烘干炉(1)和高温烧结炉(2),所述保温烘干炉(1)套设在高温烧结炉(2)外侧,所述高温烧结炉(2)与保温烘干炉(1)之间设置有旋转烘干架(3),所述保温烘干炉(1)通过管道连接有真空泵(4),所述旋转烘干架(3)一侧转动连接有第一炉门(5),所述第一炉门(5)传动连接有第一导轨驱动机构(6),所述高温烧结炉(2)内设置有旋转烧结架(7),所述高温烧结炉(2)一侧固定连接有第二炉门(9),所述第二炉门(9)传动连接有第二导轨驱动机构(10)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏旭邦光电科技有限公司,其通讯地址为:222000 江苏省连云港市东海县经济开发区庐山路8号厂区内4号厂房(东海县开发区东区庐山路东侧、淮河路南侧);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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