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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利基于微波激励的远程等离子体密度均匀化调控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120529474B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511014218.7，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权基于微波激励的远程等离子体密度均匀化调控方法是由赵俊君;尹巧星设计研发完成，并于2025-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于微波激励的远程等离子体密度均匀化调控方法在说明书摘要公布了：本发明涉及等离子体密度调控技术领域，公开了基于微波激励的远程等离子体密度均匀化调控方法。该方法利用微波激励设备，获取目标区域场强探测信号数据与目标区间等离子体密度探测信号数据，确定目标区间密度分布。依据场强数据构建三维场强模型，结合密度分布确定微波调控装置运行策略。微波调控装置按策略获取目标区间等离子体状态图像数据，分析密度均匀性，得到密度调控数据。该方法通过多维度数据采集、三维模型构建及图像分析驱动的调控逻辑，解决远程等离子体密度均匀性调控难题，适用于半导体制造、材料表面处理、化学气相沉积等场景，可改善相关工艺因密度不均产生的质量问题。

本发明授权基于微波激励的远程等离子体密度均匀化调控方法在权利要求书中公布了：1.一种基于微波激励的远程等离子体密度均匀化调控方法，其特征在于，包括以下步骤： 基于微波激励设备获取目标区域的场强探测信号数据和目标区间的等离子体密度探测信号数据，根据所述等离子体密度探测信号数据确定所述目标区间的密度分布情况； 根据所述场强探测信号数据构建目标区域的三维场强模型，根据所述三维场强模型和密度分布情况确定微波调控装置的运行策略； 所述微波调控装置根据所述运行策略获取目标区间的等离子体状态图像数据，根据所述图像数据对目标区间的等离子体密度均匀性进行分析，得到密度调控数据； 所述基于微波激励设备获取目标区域的场强探测信号数据和目标区间的等离子体密度探测信号数据，根据所述等离子体密度探测信号数据确定所述目标区间的密度分布情况，具体为： 基于微波激励设备获取目标区域的场强探测数据和目标区域中目标区间的等离子体密度探测信号数据； 基于滑动窗口滤波算法对所述等离子体密度探测信号数据进行去噪增强操作，得到干扰抑制的等离子体密度探测信号数据，引入经验模态分解算法，设定所述经验模态分解算法参数的初始值； 根据所述经验模态分解算法对所述干扰抑制的等离子体密度探测信号数据进行信号分解，得到m个本征模态分量； 对所述本征模态分量进行傅里叶变换，构建每个本征模态分量的频域信号，根据所述频域信号计算每个本征模态分量的幅值均值和频率带宽，将所述幅值均值和频率带宽构建频域分布矩阵； 根据所述频域分布矩阵计算所述微波激励设备所发射的每个频段的能量集中度、幅值方差、能量总量、幅值极值，得到密度探测特征谱； 根据所述等离子体密度探测信号数据获取所述密度探测特征谱的采样点位置信息，根据所述采样点位置信息将每个采样点的密度探测特征谱进行空间映射，构建三维密度探测特征谱； 根据所述三维密度探测特征谱确定每个采样点的密度梯度，根据每个采样点的密度梯度构建目标区间的密度分布等值线图和密度梯度向量场，根据所述密度分布等值线图和密度梯度向量场确定所述目标区间的密度分布情况。

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