中科宝溢视觉科技(江苏)有限公司刘太龙获国家专利权
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龙图腾网获悉中科宝溢视觉科技(江苏)有限公司申请的专利多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120446009B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510936422.8,技术领域涉及:G01N21/21;该发明授权多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质是由刘太龙;张保平;杨光;纪诺设计研发完成,并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:通过多波段可编程激光源多角度入射照射,获取透射光与反射光的偏振相位差信号并记录偏振椭圆度参数变化;随后结合共焦显微干涉与偏振分析确定应力异常区的空间坐标与应力分布图;再通过宽带光源在光热耦合环境下进行持续照射并监测干涉信号、偏振态与温度变化,得到动态演变特征;最后在预设的光轴排列与光束能量分布的系统环境中对多层膜光学膜执行模拟测试,获取原位偏振态和干涉图数据并评估膜层光学性能。本发明能够在较高分辨率下定位潜在缺陷并准确评估膜层在复杂应用条件下的可靠性与成像质量。
本发明授权多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种多层膜光学膜的检测方法,其特征在于,所述多层膜光学膜的检测方法包括: 通过多波段可编程激光源对多层膜光学膜样本进行多角度入射照射,获得透射光与反射光的偏振相位差信号,根据所述偏振相位差信号记录多层膜光学膜样本的偏振椭圆度参数变化,得到光学偏振参数映射图; 通过共焦显微干涉装置根据所述光学偏振参数映射图,对多层膜光学膜进行形貌扫描,获得膜层界面轮廓数据,并根据所述膜层界面轮廓数据结合偏振分析组件进行局部应力分析,得到应力异常区的空间坐标与应力分布图; 通过宽带光源根据所述空间坐标与应力分布图,在预设的测试腔室内对多层膜光学膜进行持续照射,获得干涉信号和偏振态数据,并根据所述干涉信号和偏振态数据结合红外热像采集应力异常区的温度变化,得到对应的动态演变特征; 根据所述动态演变特征,通过预设的光轴排列与光束能量分布的系统环境对多层膜光学膜进行模拟测试,获得原位偏振态和干涉图数据,根据所述原位偏振态和干涉图数据分析膜层光学性能,得到系统环境下的综合评估结果。
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