中科苏州微电子产业技术研究院苌凤义获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中科苏州微电子产业技术研究院申请的专利面向晶圆级测试的多探针协同接触控制与调节方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120539571B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510908480.X，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权面向晶圆级测试的多探针协同接触控制与调节方法及系统是由苌凤义设计研发完成，并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本面向晶圆级测试的多探针协同接触控制与调节方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供面向晶圆级测试的多探针协同接触控制与调节方法及系统，涉及晶圆级测试技术领域，包括通过获取探针初始和目标位置信息生成轨迹规划方案，采用多维度传感器阵列采集探针数据并建立评估模型，构建优化目标函数，采用分层递进式预测控制算法优化轨迹获得子群控制参数，实现探针精确定位，并依据评估指标触发参数优化循环。本发明有效提高了多探针协同运动精度与接触可靠性。
本发明授权面向晶圆级测试的多探针协同接触控制与调节方法及系统在权利要求书中公布了：1.面向晶圆级测试的多探针协同接触控制与调节方法，其特征在于，包括： 获取多探针测试系统中各探针的初始位置信息和目标测试点位置信息，生成初始探针位移轨迹规划方案； 采用多维度异构传感器阵列实时采集探针运动特征数据，基于所述探针运动特征数据，建立包含耦合干扰矩阵和同步偏差向量的探针群运动状态评估模型； 根据所述探针群运动状态评估模型输出的耦合干扰矩阵和同步偏差向量，结合初始探针位移轨迹规划方案，生成探针群运动优化目标函数； 基于所述探针群运动优化目标函数，采用分层递进式预测控制算法进行轨迹优化，得到子群控制参数；根据所述子群控制参数在微观层实现单探针精确定位控制，通过滑动时域窗口机制对各层预测模型进行动态优化； 根据所述探针群运动状态评估模型计算当前接触状态的评估指标，将所述评估指标与预设评估阈值进行比对，当超出所述预设评估阈值范围时，将评估结果反馈至所述探针群运动状态评估模型，触发参数优化循环。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中科苏州微电子产业技术研究院，其通讯地址为：215009 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城1幢505、507；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号