常州容导精密装备有限公司王国栋获国家专利权
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龙图腾网获悉常州容导精密装备有限公司申请的专利一种半导体用前驱体精馏装置、系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120242518B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510739785.2,技术领域涉及:B01D3/14;该发明授权一种半导体用前驱体精馏装置、系统及方法是由王国栋;陆翔;张文静;朱仁杰;张真真设计研发完成,并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体用前驱体精馏装置、系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体用前驱体精馏装置、系统及方法,包括换热组件、分布组件和集液组件,其中分布组件包括分布管体,分布管体的底部设有供精馏塔输送蒸汽的连接孔;集液组件置于分布管体与换热组件之间,包括用于收集换热组件冷凝产生的液体的采出器,采出器的底部设有基板,基板上设置有溢流管和若干气相流通管,气相流通管连通采出器与分布管体;溢流管一端伸入采出器形成有溢流口,另一端伸入分布组件且位于连接孔上方,使得冷凝液体能够与从精馏塔中出来的蒸汽在分布管体内相接触,实现冲洗蒸汽中的重组分物质,然后一同回流至精馏塔中,相应的轻组分物质能够被快速的富集,并及时排出,使得半导体前驱体中的轻组分物质含量降低。
本发明授权一种半导体用前驱体精馏装置、系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体用前驱体精馏装置,包括换热组件100,其特征在于,还包括: 分布组件200,所述分布组件200包括分布管体210,所述分布管体210的底部设有供精馏塔输送蒸汽的连接孔220; 置于所述分布管体210与所述换热组件100之间的集液组件300,所述集液组件300包括用于收集所述换热组件100冷凝产生的液体的采出器310,所述采出器310的底部设有基板320,所述基板320上设置有溢流管330和若干气相流通管340,所述气相流通管340连通所述采出器310与分布管体210;所述溢流管330一端伸入采出器310,与所述采出器310的侧壁面形成集液空间380,所述溢流管330伸入采出器310的一端上设有溢流口331,另一端伸入分布组件200且位于所述连接孔220上方,使得冷凝液体能够与从精馏塔中出来的蒸汽在分布管体210内相接触,实现冲洗蒸汽中的重组分物质; 其中,所述溢流管330位于所述基板320的中心位置,若干所述气相流通管340围绕所述溢流管330设置,所述溢流管330与所述连接孔220共轴设置,所述溢流管330的内径不小于所述连接孔220的直径,所述溢流管330内的液体经所述连接孔220回流至精馏塔内; 所述气相流通管340伸入所述采出器310内的一端开有出气孔341,所述气相流通管340的另一端设有进气孔342,所述进气孔342与所述基板320的底面齐平,所述出气孔341设置在所述溢流管330远离所述基板320一侧的侧壁面上,所述气相流通管340远离所述基板320一侧的顶部端面封闭设置。
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