深圳新声半导体有限公司王友良获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳新声半导体有限公司申请的专利一种体声波滤波器的制作方法及体声波滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120016987B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510508230.7，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权一种体声波滤波器的制作方法及体声波滤波器是由王友良;邹洁;冯端设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种体声波滤波器的制作方法及体声波滤波器在说明书摘要公布了：本申请公开了一种体声波滤波器的制作方法及体声波滤波器，包括：制作第一衬底；以及在第一衬底上形成谐振结构，其中谐振结构包括工作区域以及围绕工作区域的非工作区域，并且其中，在非工作区域中谐振结构的压电层的至少一个表面与相邻膜层之间形成凹凸结构。从而达到了能够保证体声波滤波器的寿命，并增加体声波滤波器的可靠性的技术效果。
本发明授权一种体声波滤波器的制作方法及体声波滤波器在权利要求书中公布了：1.一种体声波滤波器的制作方法，其特征在于，包括： 制作第一衬底（110）； 在所述第一衬底（110）上沉积第一电极（120）； 在所述第一电极（120）上沉积压电层（130），并形成谐振结构，其中所述谐振结构包括工作区域以及围绕所述工作区域的非工作区域，并且其中，在所述非工作区域中所述谐振结构的压电层（130）的至少一个表面与相邻膜层之间形成凹凸结构，其中在所述第一衬底（110）上形成所述谐振结构的过程，还包括： 在所述压电层（130）上沉积第二电极（140）； 在所述压电层（130）和所述第二电极（140）上形成围栏层（160），其中 所述围栏层（160）在所述非工作区域与所述压电层（130）邻接的表面形成有与所述压电层（130）的第三凹凸结构（132）对应的第四凹凸结构（161）。
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