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龙图腾网获悉名正(浙江)电子装备有限公司;安徽名正电子装备有限公司申请的专利一种用于研磨抛光的晶圆粘片机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120055990B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510448142.2，技术领域涉及：B24B37/30；该发明授权一种用于研磨抛光的晶圆粘片机是由郑勇设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于研磨抛光的晶圆粘片机在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种用于研磨抛光的晶圆粘片机，包括固定机构，固定机构的内部固定设置有固定组件，固定机构的内壁固定设置有闭合组件，在使用前，先将晶圆放置在微孔陶瓷真空吸盘的顶部，其中，若干个弧形板处于堆叠的状态，在弧形板转动时，若干个弧形板的中心位置将形成圆形的夹持区域，该区域将对微孔陶瓷真空吸盘的顶部晶圆的侧壁进行夹持限位，在对晶圆进行夹持限制的同时，多个弧形板的推动将保障晶圆处于微孔陶瓷真空吸盘的中心位置，随后微孔陶瓷真空吸盘产生吸附力，在吸附力以及侧壁夹持力的影响下，保障设备能够对不同规格的晶圆进行夹持吸附处理。

本发明授权一种用于研磨抛光的晶圆粘片机在权利要求书中公布了：1.一种用于研磨抛光的晶圆粘片机，其特征在于，还包括： 固定机构（1），所述固定机构（1）的内部固定设置有固定组件（11），所述固定机构（1）的内壁固定设置有闭合组件（12），所述闭合组件（12）用于夹持限制晶圆的位置； 吸附机构（2），所述吸附机构（2）固定安装在固定组件（11）的内壁，用于吸附晶圆，保障晶圆在研磨过程中，不会因为外部力的影响出现错位； 限制机构（3），所述限制机构（3）固定安装在吸附机构（2）的内壁，用于为吸附机构（2）的吸附提供动力； 其中，在使用前，先通过固定机构（1）将晶圆限制在固定机构（1）的顶部，随后，限制机构（3）将外部的负压力作用在吸附机构（2）内部，使得吸附机构（2）吸附晶圆； 所述固定机构（1）的内部设置有圆筒（13），所述圆筒（13）的内壁处固定连接有支架（111），所述支架（111）的顶部固定连接有安装环（112），所述固定机构（1）包括： 固定组件（11），所述固定组件（11）固定设置在圆筒（13）的内壁，为吸附机构（2）与限制机构（3）提供安装位置，并提供驱动的动力； 闭合组件（12），所述闭合组件（12）固定设置在圆筒（13）的内壁，固定组件（11）产生的动力将传输至闭合组件（12）； 其中，固定组件（11）产生的动力将传输至闭合组件（12），使得闭合组件（12）对外部的晶圆进行夹持限定； 所述吸附机构（2）包括： 吸附组件（21），所述吸附组件（21）通过吸附件固定设置在固定组件（11）的内部，用于对外部的晶圆进行负压吸附； 所述吸附件包括固定连接在安装环（112）内壁的固定支架（211），所述固定支架（211）的内壁处固定连接有微孔陶瓷真空吸盘（212），所述支架（111）的通孔内壁处滑动连接有传输管（213）； 排气组件（22），所述排气组件（22）通过传输件固定设置在支架（111）的内壁，为负压的传输提供路径； 所述传输件包括固定连接在传输管（213）内壁处的固定盘（221）； 其中，在外部负压从传输管（213）进入，并作用在微孔陶瓷真空吸盘（212）的内壁，实现外部负压的传输； 所述限制机构（3）包括： 限位组件（31），所述限位组件（31）通过支撑件固定设置在固定盘（221）的内壁，限制负压传输的效率； 所述支撑件包括固定连接在支架（111）底部的四个固定杆（311），四个所述固定杆（311）的内壁处开设有限位槽（312）； 阻碍组件（32），所述阻碍组件（32）通过液压件固定设置在固定支架（211）的顶部，利用压缩力，限制传输管（213）的滑动； 所述液压件包括贯通连接在固定支架（211）顶部的液压伸缩杆（321），所述液压伸缩杆（321）的外壁处固定连接有弹簧一（322）； 其中，在外部负压进入传输管（213）内壁处时，负压将通过固定盘（221）的通孔内壁，此时阻碍组件（32）将带动限位组件（31）运行，并通过固定杆（311）的应用，限制传输管（213）的滑动。

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