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宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权

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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影设备传送装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120178601B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510307588.3,技术领域涉及:G03F7/16;该发明授权一种涂胶显影设备传送装置是由周修斌;安礼余设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种涂胶显影设备传送装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种涂胶显影设备传送装置,涉及涂胶显影设备技术领域,包括:底座;所述底座固定在涂胶显影设备上,底座顶端面固定有两根第一电动缸,两根第一电动缸的伸出端均固定在第一安装块底端面。应急调整功能:当第一电动缸出现故障时,两根第三电动缸可以作为备用,通过伸展来应急调整晶圆的高度,确保生产不受影响,提高了设备的可靠性和稳定性;自动对位与清洁功能:辅助组件中的安装架能够自动将晶圆拨动至放置槽内,确保晶圆位置正确;同时,清洁块能够在晶圆移动过程中清除其表面的灰尘,提高涂胶或显影的质量;气流除尘效果:清洁组件通过伸缩瓶和喷气管的连续喷气,实现了晶圆顶端面的气流除尘,进一步提升了涂胶或显影的精度和效果。

本发明授权一种涂胶显影设备传送装置在权利要求书中公布了:1.一种涂胶显影设备传送装置,其特征在于,包括:底座(1);所述底座(1)固定在涂胶显影设备上,底座(1)顶端面固定有两根第一电动缸(2),两根第一电动缸(2)的伸出端均固定在第一安装块(3)底端面,第一安装块(3)上安装有传送组件(4);传送组件(4)由导轨座(401)、导轨(402)、滑动块(403)、座体(404)、第二安装块(405)、第二电动缸(406)、第三电动缸(407)和放置座(408)构成,第一安装块(3)顶端面固定有两根导轨座(401),每个导轨座(401)内均固定有两个导轨(402),每个导轨(402)上均滑动有一个滑动块(403),两个固定在滑动块(403)上;两个导轨座(401)上固定有一个第二安装块(405),第二安装块(405)上固定有一根第二电动缸(406),第二电动缸(406)的伸出端固定在座体(404)上; 两个导轨座(401)上安装有辅助组件(7),辅助组件(7)由安装架(701)和清洁块(702)构成,两个导轨座(401)上固定有一个安装架(701),安装架(701)左侧开口端为V形结构,安装架(701)的底端面高于晶圆(5)顶端面0.1cm; 安装架(701)底端面固定有清洁块(702),清洁块(702)位于晶圆(5)的右侧位置,清洁块(702)底端面与晶圆(5)顶端面平齐。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宇弘研科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区娄葑北区创投工业坊10号厂房一楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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