中国科学院长春光学精密机械与物理研究所胡海翔获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种光学元件的一体化加工检测设备和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120056146B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510254627.8,技术领域涉及:B25J11/00;该发明授权一种光学元件的一体化加工检测设备和方法是由胡海翔;郭乃泉;李明茁;周满;张学军;薛栋林设计研发完成,并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学元件的一体化加工检测设备和方法在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体领域,公开了一种光学元件的一体化加工检测设备和方法,设备包括:机械臂,用于在检测装置和加工装置之间转移待检光学元件;所述检测装置,用于检测所述待检光学元件的面形;控制装置,与所述机械臂、所述检测装置和所述加工装置分别连接,用于调整所述机械臂和所述检测装置的位置,并当所述面形不符合预设面形条件时,生成加工参数信息;所述加工装置,用于根据所述加工参数信息加工所述待检光学元件,所述机械臂、所述检测装置、所述控制装置和所述加工装置均集成在工件台上,所述机械臂的位置固定。本申请可以实现检测和加工一体化和自动化,具有加工效率高、省时省力的特点。
本发明授权一种光学元件的一体化加工检测设备和方法在权利要求书中公布了:1.一种光学元件的一体化加工检测设备,其特征在于,包括: 机械臂,用于在检测装置和加工装置之间转移待检光学元件;机械臂包括真空吸附装置,用于将待检光学元件吸附放置在机械臂上,且机械臂根据待检光学元件的重量自动调节真空吸附装置的气压; 所述检测装置,用于检测所述待检光学元件的面形; 控制装置,与所述机械臂、所述检测装置和所述加工装置分别连接,用于调整所述机械臂和所述检测装置的位置,并当所述面形不符合预设面形条件时,生成加工参数信息; 所述加工装置,用于根据所述加工参数信息加工所述待检光学元件; 其中,所述机械臂、所述检测装置、所述控制装置和所述加工装置均集成在工件台上,所述机械臂的位置固定; 所述加工装置包括磁流变加工装置; 所述磁流变加工装置包括: 标定笔,与抛光盘的距离固定,用于标定所述待检光学元件的位置; 所述磁流变加工装置还包括:控制部件,用于控制梯度磁场强度、磁流变抛光液的流动和分布,以及待检光学元件的运动轨迹。
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