哈尔滨工业大学张晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种EB-PVD用纳米结构YSZ靶材的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119638415B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411992511.6,技术领域涉及:C04B35/488;该发明授权一种EB-PVD用纳米结构YSZ靶材的制备方法是由张晓东;韩旭;王铀;唐莎巍;孟祥龙;邓路炜;王东升;李国强;孙辰坤设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种EB-PVD用纳米结构YSZ靶材的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种EB‑PVD用纳米结构YSZ靶材的制备方法,所述方法包括如下步骤:一、将不同粒径纳米结构YSZ球型粉体进行配比,得到具有不同粒径的纳米结构YSZ球型混合粉体;二、向YSZ球型混合粉体中加入去离子水,随后搅拌粉体,平铺放置陈化粉体以提高成型性能,得到陈化粉体;三、将陈化粉体利用上下双轴压力机进行压制,退模后的生坯装入密封袋中抽真空处理;四、将真空密封后的生坯进一步利用冷等静压方法进行压制,得到靶材生胚;五、对靶材生胚进行烧结,得到纳米结构YSZ靶材。本发明通过控制烧结路线、粒径级配技术,可以精确控制靶材体积收缩率,简化了靶材制备工艺流程,降低了生产成本。
本发明授权一种EB-PVD用纳米结构YSZ靶材的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种EB-PVD用纳米结构YSZ靶材的制备方法,其特征在于所述方法包括如下步骤: 步骤一、将纳米结构YSZ球型粉体按照粒度进行筛分,将筛分后的不同粒径纳米结构YSZ球型粉体按照质量比进行配比,得到具有不同粒径的纳米结构YSZ球型混合粉体,其中:所述筛分规格为50~150目、150~300目、300~400目,质量比为2~6:1~3:1~5,按照粉体粒径分布及其不同孔隙率要求进行使用;所述纳米结构YSZ球型粉体采用喷雾造粒技术制备而成; 步骤二、向步骤一得到的YSZ球型混合粉体中加入去离子水,随后搅拌粉体,平铺放置陈化粉体以提高成型性能,得到陈化粉体; 步骤三、将步骤二得到的陈化粉体搅拌均匀,装入套筒中,利用上下双轴压力机进行压制,退模后的生胚装入密封袋中抽真空处理; 步骤四、将步骤三真空密封后的生胚进一步利用冷等静压方法进行压制,得到具有不同孔隙率的靶材生胚; 步骤五、对步骤四得到的靶材生胚进行烧结,得到具有不同孔隙率的纳米结构YSZ靶材,其中:所述烧结机制为:首先,以1~5℃min升至350℃并保温300~420min,接着,以1~5℃min升至800℃并保温180~250min,随后,以1~5℃min升至1150~1300℃并保温120~360min,随后,以1~5℃min的降温速率降至600℃并保温120~150min,最后,将温度降至室温。
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