浙江大学陈芳获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种用于离子溅射仪的可变角度内置样品台装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373214U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423237109.5，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种用于离子溅射仪的可变角度内置样品台装置是由陈芳;丁晓坤;裘雅渔;赵翌帆;庄锦;楼莉萍设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于离子溅射仪的可变角度内置样品台装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于离子溅射仪的可变角度内置样品台装置，包括底座、球铰机构及转动杆，所述底座呈圆筒状，所述球铰机构设置在底座内，球铰机构上固定有衬套管，所述转动杆穿过衬套管并与衬套管滑配，底座的内壁上设有波浪环形滑槽，转动杆的一端设有导向球头，转动杆位于导向球头与衬套管之间部分上套有弹簧，所述弹簧两端分别与导向球头、衬套管相抵，导向球头与波浪环形滑槽相适配，衬套管上固定有样品台。本实用新型能使样品台能进行旋转和在一定角度范围为发生倾斜即多角度旋转，能够实现对一定厚度的样品上表面和侧面进行均匀镀膜，整体结构简单，使用方便，成本低，不产生电场和磁场。
本实用新型一种用于离子溅射仪的可变角度内置样品台装置在权利要求书中公布了：1.一种用于离子溅射仪的可变角度内置样品台装置，其特征在于，包括底座1、球铰机构及转动杆2，所述底座呈圆筒状，所述球铰机构设置在底座内，球铰机构上固定有衬套管3，所述转动杆穿过衬套管并与衬套管滑配，底座的内壁上设有波浪环形滑槽4，转动杆的一端设有导向球头5，转动杆位于导向球头与衬套管之间部分上套有弹簧6，所述弹簧两端分别与导向球头、衬套管相抵，导向球头与波浪环形滑槽相适配，衬套管上固定有样品台7。
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