赛英特半导体技术(西安)有限公司王煜获国家专利权
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龙图腾网获悉赛英特半导体技术(西安)有限公司申请的专利一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119335350B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411865864.X,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法是由王煜设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法在说明书摘要公布了:本公开提供了一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法,该测试电路可以包括电源模块、选路器、储能模块、陪测器件、载片台、测试模块、主测试器件以及至少一个辅助测试器件,其中,电源模块用于提供电流信号;储能模块用于存储电流信号;选路器用于将电流信号经由储能模块以及载片台传输至主测试器件和或辅助测试器件,或将电流信号经由辅助测试器件以及储能模块传输至主测试器件;陪测器件连接于辅助测试器件与电源模块之间;载片台用于固定主测试器件以及传输电源模块提供的电流信号;测试模块用于获取主测试器件的电压和电流以根据电压和电流确定测试结果。
本发明授权一种晶圆的动态参数测试电路及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆的动态参数测试电路,其特征在于,所述晶圆介于光刻和封装之间的测试阶段,所述晶圆包括多个晶体管,多个晶体管的漏极构成所述晶圆的衬底,所述测试电路包括:电源模块、选路器、储能模块、陪测器件、载片台、测试模块、主测试器件以及多个辅助测试器件,所述主测试器件和所述辅助测试器件相邻且串联设置,多个所述辅助测试器件并联设置,并且所述主测试器件和辅助测试器件集成在同一个半导体衬底上,其中, 所述电源模块,用于为所述测试电路提供电流信号; 所述储能模块,用于存储所述电流信号; 所述陪测器件,连接于所述辅助测试器件与所述电源模块之间; 所述载片台,用于固定所述主测试器件以及传输所述电源模块提供的电流信号; 所述测试模块,用于获取所述主测试器件的电压和电流,以根据所述电压和电流确定测试结果; 所述选路器包括第一开关和第二开关,其状态包括闭合状态和断开状态,所述第一开关和第二开关并联设置,所述第一开关和第二开关有且仅有一个处于闭合状态; 所述第一开关用于将所述电源模块提供的电流信号依次经由所述储能模块、所述载片台以及所述主测试器件传输回所述电源模块,或将所述电源模块提供的电流信号依次经由所述储能模块、所述载片台、所述辅助测试器件以及所述陪测器件传输回所述电源模块; 所述第二开关用于将所述电源模块提供的电流信号依次经由所述辅助测试器件、所述载片台以及所述储能模块传输回所述电源模块,或将所述电源模块提供的电流信号依次经由所述主测试器件、所述载片台以及所述储能模块传输回所述电源模块。
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