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龙图腾网获悉中导光电设备股份有限公司申请的专利一种基于3D模型关系的OCD测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119803283B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411862838.1，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种基于3D模型关系的OCD测量方法是由张梁;陈盛闯;李波设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于3D模型关系的OCD测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于3D模型关系的OCD测量方法，包括：采集显微镜在不同高度时3D量测对象的平面量测结果，每个平面量测结果对应一个取图序号；建立平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系；根据所述平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系计算所述3D量测对象的光学关键尺寸。本发明的关键点是，（1）简单采用不同高度下的2D成像构建3D模型的方式；（2）利用G、B色光下量测对象的不同表现特征进行数据融合；（3）利用数据的收敛和波动规律推断感兴趣的关键尺寸。本发明的优点在于：通过大量的数据验证，该方法稳定性和准确性较好，和CDSEM匹配度较高。

本发明授权一种基于3D模型关系的OCD测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于3D模型关系的OCD测量方法，其特征在于，包括： 采集显微镜在不同高度时3D量测对象的平面量测结果，每个平面量测结果对应一个取图序号； 建立平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系； 根据所述平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系计算所述3D量测对象的光学关键尺寸； 所述3D模型关系如下： 显微镜沿着Z轴从a\b到b\a位置，在G色光下，平面量测结果经历发散、收敛、发散的过程，在收敛阶段数据稳定，且缓慢变大\变小； 显微镜沿着Z轴从a\b到b\a位置，在B色光下，平面量测结果经历发散、收敛、发散的过程，在收敛阶段数据稳定，且缓慢变小\变大； 显微镜沿着Z轴从a\b到b\a位置，在G\B色光数据混合下，平面量测结果经历发散、收敛、发散的过程，在收敛阶段数据稳定，且几乎不变； 在G\B色光数据混合下，在收敛阶段求取最稳定数据，对G\B色光混合的数据进行融合，对混合数据段的稳定性进行评估，抽取最稳定阶段数据作为量测结果。

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