中山智隆新材料科技有限公司高钰航获国家专利权
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龙图腾网获悉中山智隆新材料科技有限公司申请的专利一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119774982B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411828511.2,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用是由高钰航;王靓栎;陈露;葛春桥;梁齐莹设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用。本发明的制备方法,相对现有用于异质结、钙钛矿太阳能电池的ITO靶材,本发明通过掺杂铈元素提高了靶材的电阻率,制备的靶材相对密度59%‑64%。同时,本发明通过混合时掺杂碳粉,达到控制靶材孔隙率及提高靶材强度,优化靶材掉粉现象的效果。本发明还提供了含有铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的透明导电氧化物薄膜和光伏太阳能电池。
本发明授权一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种铈掺杂氧化铟蒸镀靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:将纳米氧化铈粉末与纳米氧化铟粉末混合球磨,造粒后将物料分为物料A1和物料B1两部分; S2:向所述物料B1中加入水,模压造粒得到物料B2; S3:将所述物料A1和所述物料B2分别升温脱脂,脱脂完成后分别进行第一次烧结; S4:将第一次烧结后获得的物料A1进行球磨,获得物料A2; S5:将纳米碳粉与所述物料A2进行干法混合,获得物料C,将所述物料C与步骤S3处理后的所述物料B2进行均质混合,向混合物中加水,液压成型,得到靶材素坯; S6:将所述靶材素坯在氧气气氛中进行素坯烧结,得到胚体,切割打磨后得到所述的铈掺杂氧化铟蒸镀靶材; 制备原料中,纳米氧化铟粉末的质量占比为94%-98%,纳米氧化铈粉末的质量占比为1.5%-5%,纳米碳粉的质量占比为0.5%-1%。
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