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龙图腾网获悉无锡昌鼎电子有限公司申请的专利一种晶圆扩膜及矫正机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119297123B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411765541.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆扩膜及矫正机构是由陈能强;陈海博设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆扩膜及矫正机构在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体提供了一种晶圆扩膜及矫正机构，包括底座，所述底座上设有内环、外环，所述外环分布于内环的外侧，晶圆置于外环上，内环抵触在晶圆的薄膜区域下端；所述底座上设有驱动模块、升降模块、矫正模块、离合模块；本发明在驱动模块中设置啮合传动的主动齿轮和从动齿轮配合传动，能够保证恒定的动力传动比，因此传动更加平稳，传动效率高，工作可靠；本发明还设置了矫正模块，矫正模块能够矫正扩膜状态下晶粒在晶圆上的分布位置，方便取晶和装到产品上，提高装晶产品的良品率；离合模块的设置能够在晶圆扩膜后需要矫正晶粒位置的时候将驱动模块的主动齿轮与从动齿轮分离，提高矫正效果。

本发明授权一种晶圆扩膜及矫正机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆扩膜及矫正机构，包括底座，所述底座上设有内环、外环，所述外环分布于内环的外侧，晶圆置于外环上，内环抵触在晶圆的薄膜区域下端； 其特征在于：所述底座上设有驱动模块、升降模块、矫正模块、离合模块； 所述驱动模块包括：驱动电机；装于驱动电机输出端的主动齿轮；啮合连接主动齿轮的从动齿轮，所述从动齿轮通过支架转动装于底座上，从动齿轮的下端装有同步转轮；配合同步转轮传动的若干第一从动转轮，若干所述第一从动转轮分布于外环的外侧下方；同时套接于同步转轮和若干第一从动转轮上的第一传动皮带； 所述升降模块包括：螺母座，所述螺母座装于第一从动转轮中；螺纹穿接螺母座的螺柱；连接在螺柱上端的压块，所述压块嵌装于外环上； 所述矫正模块包括：矫正电机；套接于矫正电机输出端的主动转轮；配合主动转轮传动的第二从动转轮，第二从动转轮转动装配于底座上；同时套接于主动转轮和第二从动转轮上的第二传动皮带；设于第二从动转轮上端的支撑座，所述内环、外环、从动齿轮均装于支撑座上；所述底座上设有张紧轮和定心轮，张紧轮转动配合在第二传动皮带的内侧端，定心轮转动配合在第二传动皮带的外侧端；所述第二从动转轮上设有若干销孔，支撑座通过销轴可拆卸的装于第二从动转轮上； 所述离合模块包括：离合气缸；滑轨；滑动配合在滑轨上的滑块；装于滑块上端且连接离合气缸输出端的电机座，所述驱动电机装于电机座上；通过离合气缸驱动电机座活动，带动装于电机座上的驱动电机以及主动齿轮活动以相对从动齿轮分离聚合； 所述外环上端还配合有盖板，在外环与盖板之间存在入料口；在外环相对入料口一侧的上端设有防呆柱，用于定位晶圆的导入方向； 所述外环上端还设有晶圆检知器和一对相对配合的定位条，晶圆检知器用于晶圆是否导入，一对定位条用于定位晶圆两侧的外边缘； 所述底座上设有原点角度检知器，用于检测外环的初始原点位置； 所述支撑座上端设有缓冲柱，缓冲柱对应在盖板的下端，用于缓冲外环的升降碰撞冲击； 所述电机座上设有扩膜定位块，扩膜定位块与装配从动齿轮的支架上端咬合配合，在用于扩膜过程中固定主动齿轮与从动齿轮的啮合配合。

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