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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种可调节流量的气动超洁净隔膜阀获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119665003B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411771239.9，技术领域涉及：F16K31/122；该发明授权一种可调节流量的气动超洁净隔膜阀是由苏芮;张振寰;王安宇;金晨超;杨俊祺;胡亮;申英男;王静;阮晓东;付新设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可调节流量的气动超洁净隔膜阀在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体领域的可调节流量气动超洁净隔膜阀。阀体的连通出入口的阀腔内设有隔膜，隔膜上端固定于活塞杆下端，上腔体、下腔体之间密封固定连接并在内部围成一个气室，活塞杆上部可沿朝向阀腔或远离方向移动地密封安装在所述气室内，活塞杆下部伸出到气室外下腔体固定装在阀体上，下腔体侧壁设置有用于控制隔膜平衡位置的流量调节结构，所述流量调节结构用于将气室和大气连通，下腔体均开设有用于和流量调节结构配合调节隔膜平衡位置进而控制阀体开度的气孔。本发明能精确调节流量，具有很好的密封性能，避免阀外污染物的进入以及阀内输送流体的外泄漏；隔膜阀整体采用PTTE材料，能够满足耐腐蚀、耐热和高洁净度的要求。

本发明授权一种可调节流量的气动超洁净隔膜阀在权利要求书中公布了：1.一种可调节流量的气动超洁净隔膜阀，包括阀体（150），其特征在于： 包括上腔体（110）、下腔体（120）、隔膜（130）、活塞杆（140）和流量调节开关（160）；阀体（150）的连通出入口的阀腔内设有隔膜（130），隔膜（130）上端固定于活塞杆（140）下端，上腔体（110）、下腔体（120）之间密封固定连接并在内部围成一个气室，活塞杆（140）上部可沿朝向阀腔或远离方向移动地密封安装在所述气室内，活塞杆（140）下部伸出到气室外下腔体（120）固定装在阀体（150）上，下腔体（120）侧壁设置有用于控制隔膜（130）平衡位置的流量调节结构，所述流量调节结构用于将气室和大气连通，下腔体（120）相对于活塞杆（140）活塞的上下两侧均开设有用于和流量调节结构配合调节隔膜（130）平衡位置进而控制阀体（150）开度的气孔； 所述流量调节结构包括了流量调节开关（160）和在下腔体（120）侧壁上设置的流量调节孔（122），流量调节开关（160）通过螺栓可旋转调节地密封安装在下腔体（120）外侧壁上，流量调节开关（160）正对的下腔体（120）侧壁表面上设有间隔分布并连通到下腔体（120）内气室的多个流量调节孔（122），多个流量调节孔（122）沿从上到下的且绕流量调节开关（160）水平的旋转中心轴线的一段圆弧间隔分布； 所述流量调节开关（160）上开设有用于在自身旋转后和流量调节孔（122）正对连通的一个联通通孔（161），联通通孔（161）和大气连通； 上腔体（110）内的所述气室的顶部开设有进气孔（111），下腔体（120）内的所述气室的底部开设有出气孔（121）。

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