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宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权

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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种芯片加工用涂胶显影机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223377597U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422975774.8,技术领域涉及:G03F7/16;该实用新型一种芯片加工用涂胶显影机是由周修斌;安礼余设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种芯片加工用涂胶显影机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种芯片加工用涂胶显影机,包括涂胶显影机箱体,所述涂胶显影机箱体顶端且位于中心位置处转动连接有转动台,所述转动台顶端开设有涂胶显影槽,所述涂胶显影槽内部底面活动插接有调节柱。本实用新型通过伺服电缸带动调节柱向下移动,使得放置台带动晶圆进入到涂胶显影槽内部,在进入的过程中,调节柱带动四个连杆向下移动并拉动四个夹持块向中心收缩,在伺服电缸停止移动时,对晶圆的四周进行对中固定,在晶圆加工完成后,伺服电缸带动放置台复位,将晶圆顶出涂胶显影槽内,实现对不同尺寸晶圆加工时的居中定位,提高了晶圆的加工效率和涂胶质量。

本实用新型一种芯片加工用涂胶显影机在权利要求书中公布了:1.一种芯片加工用涂胶显影机,包括涂胶显影机箱体1,其特征在于:所述涂胶显影机箱体1顶端且位于中心位置处转动连接有转动台2,所述转动台2顶端开设有涂胶显影槽16,所述涂胶显影槽16内部底面活动插接有调节柱3,所述调节柱3底端贯穿转动台2内部转动设置有伺服电缸8,所述伺服电缸8底端与涂胶显影机箱体1内部底面固定连接,所述转动台2顶端贯穿开设有四个导向通孔5,四个所述导向通孔5内部均滑动设置有夹持块6,四个所述夹持块6底端均转动连接有连杆7,四个所述连杆7另一端与调节柱3外表面转动连接,所述调节柱3顶端固定连接有放置台4。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宇弘研科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区娄葑北区创投工业坊10号厂房一楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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