宜宾英发德耀科技有限公司张剑获国家专利权
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龙图腾网获悉宜宾英发德耀科技有限公司申请的专利一种改善太阳能电池片方阻均匀性的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119630102B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411743410.5,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种改善太阳能电池片方阻均匀性的方法是由张剑;张敏;俞少华设计研发完成,并于2024-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善太阳能电池片方阻均匀性的方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种改善太阳能电池片方阻均匀性的方法,包括石英舟准备,经清洗和特定温度时间烘烤后精准定位放置;硅片装载,以特定倾斜角度10°‑30°和间距2mm—5mm类PE顺向放片,控制操作精度;石英舟入炉,平稳推送并监测;硼扩工艺,依硅片放置参数选不同参数组合并监测;后续工艺处理,涉及刻蚀、清洗、钝化、电极制备及烧结等。本发明通过优化放片方式及相关工艺参数,显著提高方阻均匀性,增强电池片性能一致性和稳定性,提升光电转换效率。工艺灵活可优化,能适应多种生产条件。同时具有成本效益,有助于降低生产成本,推动太阳能电池大规模生产应用。
本发明授权一种改善太阳能电池片方阻均匀性的方法在权利要求书中公布了:1.一种改善太阳能电池片方阻均匀性的方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1.石英舟准备:选用表面光滑、无划痕和杂质残留的合适规格石英舟,对其进行清洗后采用高温烘烤的方式进行干燥处理,烘烤温度控制在800℃-1000℃,烘烤时间为30分钟-60分钟;根据炉管尺寸和硅片大小,将石英舟放置在炉管中心轴线附近,偏差不超过±5mm; 步骤2.硅片装载:以类PE顺向放片方式将清洗干燥后的硅片放置在石英舟上,硅片长边与石英舟长边呈10°-30°倾斜角度放置,且使用高精度量角器确保每片硅片倾斜角度误差不超过±0.5°;硅片之间保持2mm-5mm间距,利用精密间距测量工具保证间距误差不超过±0.1mm;装载过程中采用自动化装载设备或人工配合软质镊子操作,每片硅片装载时间控制在5秒-10秒,确保硅片平稳放置,避免碰撞和刮擦,保证排列整齐度,相邻硅片横向偏差不超过±0.5mm; 步骤3.石英舟入炉:将装载好硅片的石英舟以5cms-10cms的推送速度缓慢平稳送入炉管内,确保石英舟前端与炉管入口距离偏差不超过±2cm;在送入过程中密切观察硅片是否位移或晃动,如有异常及时调整,同时精确记录石英舟入炉时间,精确到秒; 步骤4.硼扩工艺:根据硅片倾斜角度和间距选择不同的硼扩工艺参数进行硼扩,硼扩过程中持续监测炉管内温度、压力和气体流量等参数,每隔5分钟记录一次数据;硼扩结束后对炉管进行冷却处理,然后将硅片从炉管取出进行后续工艺处理; 步骤5.后续工艺处理:包括刻蚀工艺去除磷硅玻璃PSG层,刻蚀后清洗去除残留物,再进行钝化处理,最后通过丝网印刷技术制备电极,烧结处理使电极与硅片形成良好欧姆接触,完成太阳能电池片制造。
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