季华实验室宋绍漫获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种可见-紫外双波长投影物镜及光学系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119511512B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411724954.7,技术领域涉及:G02B13/14;该发明授权一种可见-紫外双波长投影物镜及光学系统是由宋绍漫;田兴志设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可见-紫外双波长投影物镜及光学系统在说明书摘要公布了:本发明涉及光学仪器技术领域,本发明公开了一种可见‑紫外双波长投影物镜及光学系统,包括从所述投影物镜的物面到像面沿其光轴方向依次设置的具有正光焦度的第一镜组、具有负光焦度的第二镜组、具有正光焦度的第三镜组和具有正光焦度的第四镜组;所述投影物镜还包括孔径光阑,所述孔径光阑位于所述第三镜组中相邻的两个透镜之间;通过四个镜组的排列及正负光焦度的合理搭配,实现了对色差的有效校正,光学系统成像质量优良,能够适配高功率大线宽的深紫外波段光源。
本发明授权一种可见-紫外双波长投影物镜及光学系统在权利要求书中公布了:1.一种可见-紫外双波长投影物镜,其特征在于,包括从所述投影物镜的物面到像面沿其光轴方向依次设置的具有正光焦度的第一镜组、具有负光焦度的第二镜组、具有正光焦度的第三镜组和具有正光焦度的第四镜组;所述投影物镜的镜组数为4组; 所述投影物镜还包括孔径光阑,所述孔径光阑位于所述第三镜组中相邻的两个透镜之间; 所述第一镜组由具有正光焦度第一透镜(L1)构成; 所述第二镜组由从所述投影物镜物面到像面沿所述投影物镜光轴方向依次设置的具有正光焦度的第二透镜(L2)、具有正光焦度的第三透镜(L3)、具有正光焦度的第四透镜(L4)、具有负光焦度的第五透镜(L5)构成; 所述第三镜组由从所述投影物镜物面到像面沿所述投影物镜光轴方向依次设置的具有正光焦度的第六透镜(L6)、具有负光焦度的第七透镜(L7)、具有正光焦度的第八透镜(L8)、具有负光焦度的第九透镜(L9)、具有正光焦度的第十透镜(L10)、具有正光焦度的第十一透镜(L11)、具有负光焦度的第十二透镜(L12)、具有正光焦度的第十三透镜(L13)构成; 所述第四镜组由从所述投影物镜物面到像面沿所述投影物镜光轴方向依次设置的具有正光焦度的第十四透镜(L14)、具有正光焦度的第十五透镜(L15)、具有正光焦度的第十六透镜(L16)构成; 所述孔径光阑位于所述第十透镜(L10)与所述第十一透镜(L11)之间; 所述投影物镜的设计参数如下: 。
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