苏州赛宏精密模具有限公司张敏获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赛宏精密模具有限公司申请的专利一种晶圆镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373227U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422881737.0，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种晶圆镀膜设备是由张敏设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆镀膜设备，包括支脚，支脚的顶端安装有外壳，外壳底端的一侧安装有出水口，导管的底端安装有雾化喷头，外壳的内部安装有搅拌机构。本实用新型通过在盘体的内部安装有移动槽，移动槽内部的螺纹杆可以旋转，可以抓住拧块带动螺纹杆旋转，螺纹杆旋转会带动和其构成螺纹连接的限位板进行移动，限位板和移动槽构成滑动结构，限位板可以顺着移动槽进行移动，限位板移动调整限位板的位置，让限位板可以对不同大小的晶圆进行限位，限位板设置有三个，通过三角限位可以稳定的对晶圆进行限位，可以防止晶圆在盘体旋转时出现偏移的情况，以此来达成晶圆镀膜设备便于对晶圆进行限位的目的。
本实用新型一种晶圆镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆镀膜设备，包括支脚5； 其特征在于： 所述支脚5的顶端安装有外壳1，所述外壳1底端的一侧安装有出水口7，所述外壳1内部的底端安装有旋转电机6，且旋转电机6的顶端安装有伸缩机构8； 所述伸缩机构8的顶端安装有盘体9，所述盘体9的顶端安装有限位结构10，所述限位结构10包括拧块1001、限位板1002、螺纹杆1003和移动槽1004，所述移动槽1004安装在盘体9的内部，所述移动槽1004的内部活动连接有螺纹杆1003，所述螺纹杆1003的一侧安装有拧块1001，所述螺纹杆1003的顶端活动连接有限位板1002； 所述外壳1的一侧安装有水箱2，所述水箱2顶端的一侧安装有泵体13，所述泵体13的顶端和底端均安装有导管12，所述导管12的底端安装有雾化喷头11，所述外壳1的内部安装有搅拌机构4。
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