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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种光学元件表面颗粒检测及清洁装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119601503B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411691518.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种光学元件表面颗粒检测及清洁装置是由徐天伟;齐月静;齐威;马敬;武志鹏;孟璐璐设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学元件表面颗粒检测及清洁装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光学元件表面颗粒检测及清洁装置，包括低真空层流环境模块、颗粒检测模块、颗粒清洁模块和位移台模块，其中低真空层流环境模块包括工作腔室和层流低真空控制单元；颗粒检测模块包括第一聚光镜、第二聚光镜、激光发射组件和激光反馈检测组件，第一聚光镜、第二聚光镜和激光反馈检测组件分别设置于工作腔室内；颗粒清洁模块包括脉冲激光发射组件、扩束器和会聚透镜，扩束器和会聚透镜分别设置于工作腔室内；位移台模块设置于工作腔室内，位移台模块用于承载光学元件在工作腔室移动，以实现对光学元件上颗粒物的检测及清洁。本发明能够在半导体装备内部实现光学元件的原位检测及清洁，能够避免清洁后出现再次污染的问题。

本发明授权一种光学元件表面颗粒检测及清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种光学元件表面颗粒检测及清洁装置，其特征在于，包括： 低真空层流环境模块，包括工作腔室和层流低真空控制单元，所述层流低真空控制单元用于在所述工作腔室内形成压力稳定的层流低真空环境； 颗粒检测模块，包括第一聚光镜、第二聚光镜、激光发射组件和激光反馈检测组件，所述第一聚光镜、所述第二聚光镜和所述激光反馈检测组件分别设置于所述工作腔室内；所述第一聚光镜具有第一会聚点，所述第二聚光镜具第二会聚点，并且所述第一聚光镜和所述第二聚光镜具有一个重合的第三会聚点；所述激光发射组件用于向所述第一会聚点发射激光，当所述第一会聚点处的光学元件上存在颗粒物时，会产生散射光束，散射光束能够依次经过所述第三会聚点和所述第二会聚点；所述激光反馈检测组件能够对散射光信号进行采集； 颗粒清洁模块，包括脉冲激光发射组件、扩束器和会聚透镜，所述扩束器和所述会聚透镜分别设置于所述工作腔室内，所述脉冲激光发射组件用于向所述扩束器发射脉冲激光，脉冲激光依次经过所述扩束器和所述会聚透镜，在所述会聚透镜的焦点处产生冲击波，对光学元件上的颗粒物进行清除； 位移台模块，设置于所述工作腔室内，所述位移台模块用于承载光学元件在所述工作腔室移动，以实现对光学元件上颗粒物的检测及清洁。

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