无锡芯汉电子科技有限公司唐建成获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯汉电子科技有限公司申请的专利薄膜沉积设备用气体管道互锁机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373225U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422873679.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型薄膜沉积设备用气体管道互锁机构是由唐建成设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜沉积设备用气体管道互锁机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及气体管道连接技术领域，且公开了薄膜沉积设备用气体管道互锁机构，包括连接筒、上密封筒和下密封筒，所述上密封筒的右侧外表面固定连通有进气管，所述进气管的外表面固定连通有充气管，所述检测管的内壁位于活塞盘的下方固定安装有压力传感器，所述压力传感器与外界控制器电性连接。当上密封筒与下密封筒间出现泄漏时，第一弹簧带动活塞盘复位，压力传感器感应数值时发送信号至控制器，控制器使得气体输送管道内部的电磁阀关闭停止对气体的输送，从而通过压力传感器的示数能够判断上密封筒与下密封筒间的密封性，能够及时的在上密封筒和下密封筒间出现泄漏时及时的发出警报。
本实用新型薄膜沉积设备用气体管道互锁机构在权利要求书中公布了：1.薄膜沉积设备用气体管道互锁机构，包括连接筒1、上密封筒2和下密封筒3，其特征在于：所述上密封筒2的顶部外表面固定连通有检测管4，所述检测管4的内部固定连接有第一固定盘6，所述第一固定盘6的外表面活动插设有活塞杆7，所述活塞杆7的顶部外表面固定连接有活塞盘8，所述活塞盘8与检测管4的内部活动连接，所述第一固定盘6与活塞盘8之间固定连接有第一弹簧9，所述上密封筒2的右侧外表面固定连通有进气管11，所述进气管11的外表面固定连通有充气管12，所述检测管4的内壁位于活塞盘8的下方固定安装有压力传感器，所述压力传感器与外界控制器电性连接。
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