上海芯立电子科技有限公司文冬获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯立电子科技有限公司申请的专利一种溅射台用转移手臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373202U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422854766.8，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种溅射台用转移手臂是由文冬;秦宝宏;辛奇;徐锋;郭杰;闫乐成;胡凯设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射台用转移手臂在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种溅射台用转移手臂，涉及物理气相沉积设备技术领域，包括机械臂，机械臂的一端固定安装有吸附式末端执行器，所述吸附式末端执行器包括安装盘、晶圆吸附组件和除尘组件，所述晶圆吸附组件固定安装在安装盘的一侧，所述除尘组件固定安装在晶圆吸附组件的一侧，所述除尘组件包括除尘气舱。本实用新型中，气泵将过滤干净的气体通过气管泵入到除尘气舱的内部，再由除尘气舱上的除尘气口的一端排出，将晶圆膜层上的固体颗粒吹走，不会有固体颗粒进入到气舱的内部，确保晶圆吸附组件能够稳定吸附晶圆，同时对晶圆的一侧进行除杂操作，使得机械臂可直接将晶圆放入输送机构的内部，缩短晶圆的加工周期。
本实用新型一种溅射台用转移手臂在权利要求书中公布了：1.一种溅射台用转移手臂，包括机械臂1，其特征在于：机械臂1的一端固定安装有吸附式末端执行器2，所述吸附式末端执行器2包括安装盘21、晶圆吸附组件22和除尘组件23，所述晶圆吸附组件22固定安装在安装盘21的一侧，所述除尘组件23固定安装在晶圆吸附组件22的一侧，所述除尘组件23包括除尘气舱231，所述除尘气舱231的一端固定连通有若干个除尘气口232，所述除尘气舱231的一侧固定连通有气管233，所述除尘气舱231的另一端通过螺栓固定安装在晶圆吸附组件22的一侧。
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