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龙图腾网获悉扬州德沪智能装备有限公司;德沪涂膜设备(苏州)有限公司申请的专利磁铁移动结构及磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373204U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422861602.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁铁移动结构及磁控溅射装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁铁移动结构及磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了磁铁移动结构及磁控溅射装置，属于磁控溅射技术领域。该磁铁移动结构包括第一移动组件和第二移动组件；第一移动组件包括第一基座、第一驱动件、第一传动件及输出板，第一驱动件用于驱动第一传动件运动，以使第一传动件带动输出板沿X轴匀速移动；第二移动组件包括第二基座、第二驱动件、第二传动件及支撑板，支撑板上用于承载磁铁，第二基座可拆卸连接至输出板上，第二驱动件用于驱动第二传动件运动，以使第二传动件带动支撑板沿Y轴匀速移动。该磁铁移动结构能够保证磁控溅射靶材的利用率和使用寿命均较高，且保证磁控溅射靶材的各个不同区域的均匀刻蚀。

本实用新型磁铁移动结构及磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.磁铁移动结构，其特征在于，用于分别沿X轴和Y轴移动磁铁10，所述磁铁10位于磁控溅射靶材的背面，所述磁铁移动结构包括： 第一移动组件1，包括第一基座、第一驱动件12、第一传动件13及输出板14，所述第一驱动件12和所述第一传动件13分别连接至所述第一基座，所述第一驱动件12与所述第一传动件13的一端驱动连接，所述第一传动件13的另一端与所述输出板14传动连接，所述第一驱动件12用于驱动所述第一传动件13运动，以使所述第一传动件13带动所述输出板14沿X轴匀速移动； 第二移动组件2，位于所述第一移动组件1的上方，所述第二移动组件2包括第二基座、第二驱动件22、第二传动件23及支撑板24，所述支撑板24上用于承载所述磁铁10，所述第二驱动件22和所述第二传动件23分别连接至所述第二基座，所述第二基座可拆卸连接至所述输出板14上，所述第二驱动件22与所述第二传动件23的一端驱动连接，所述第二传动件23的另一端与所述支撑板24传动连接，所述第二驱动件22用于驱动所述第二传动件23运动，以使所述第二传动件23带动所述支撑板24沿Y轴匀速移动。

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