光驰科技(上海)有限公司谭立获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种工件装载架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373211U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422861533.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种工件装载架是由谭立;余海春;戴晓东;吴凯设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工件装载架在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空处理技术领域，公开了一种工件装载架。该工件装载架包括旋转架和板组件，旋转架用于装载工件；板组件设于旋转架四周并与旋转架装载的工件之间存在间隙，板组件设置有缺口；当工件装载架设于真空腔室时，至少部分缺口与设置于真空腔室内的真空处理源相对，板组件将真空腔室划分为第一区域和第二区域，旋转架在第一区域内旋转。通过设置板组件，将真空腔室划分出第一区域作为处理空间，真空处理源从缺口处对第一区域内的工件真空处理，由于第一区域内部空间小于真空腔室内的空间，进而使得工艺气体、等离子体和被溅射出来的粒子等工作物质能充分地作用于工件，减少了工作物质的浪费，提高了工作物质的利用率。
本实用新型一种工件装载架在权利要求书中公布了：1.一种工件装载架，其特征在于，包括： 旋转架11，所述旋转架11用于装载工件1； 板组件12，所述板组件12设于所述旋转架11四周并与所述旋转架11装载的所述工件1之间存在间隙，所述板组件12设置有缺口； 当所述工件装载架设于真空腔室30时，至少部分所述缺口与设置于所述真空腔室30内的真空处理源20相对，所述板组件12将所述真空腔室30划分为第一区域和第二区域，所述旋转架11在所述第一区域内旋转。
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