宝虹科技股份有限公司吕理宏获国家专利权
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龙图腾网获悉宝虹科技股份有限公司申请的专利电浆辅助化学气相沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223373218U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422849218.6,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型电浆辅助化学气相沉积设备是由吕理宏;游克强;莫士贤设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本电浆辅助化学气相沉积设备在说明书摘要公布了:一种电浆辅助化学气相沉积设备,包括一反应腔、一升降模块及一横移模块。该反应腔包括一本体、一工艺空间、一顶部开口及一可移动地设置于该顶部开口的上盖。该升降模块包括一连接该上盖的连接件以及一拉起或放下该连接件而使该上盖沿一垂直方向移动的第一驱动单元,该升降模块被配置为带动该上盖沿该垂直方向移动而封闭或露出该工艺空间。该横移模块包括一连接该升降模块的滑轨组件以及一驱动该滑轨组件沿一水平方向移动的第二驱动单元,该横移模块被配置为带动该升降模块及该上盖沿该水平方向移动而脱离该本体。
本实用新型电浆辅助化学气相沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种电浆辅助化学气相沉积设备,其特征在于,包括: 一反应腔,包括一本体、一形成于该本体之中的工艺空间、一连通于该工艺空间上方的顶部开口以及一可移动地设置于该顶部开口的上盖; 一升降模块,包括一连接该上盖的连接件以及一拉起或放下该连接件而使该上盖沿一垂直方向移动的第一驱动单元,该升降模块被配置为带动该上盖沿该垂直方向移动而封闭或露出该工艺空间;以及 一横移模块,包括一连接该升降模块的滑轨组件以及一驱动该滑轨组件沿一水平方向移动的第二驱动单元,该横移模块被配置为带动该升降模块及该上盖沿该水平方向移动而脱离该本体。
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