宝虹科技股份有限公司吕理宏获国家专利权
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龙图腾网获悉宝虹科技股份有限公司申请的专利电浆辅助化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373219U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422849225.6，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型电浆辅助化学气相沉积设备是由吕理宏;游克强;莫士贤设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本电浆辅助化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：一种电浆辅助化学气相沉积设备，包括一反应腔、一第一气体管路、一上盖组件及一第二气体管路，该反应腔包括一本体、一工艺空间及一顶部开口，该第一气体管路的一上游端连接至一气体源，且该第一气体管路包括一位于该本体之中的埋入部分及一与该埋入部分连接且突出于该本体的突出部分，该上盖组件位于该本体上，该上盖组件包括一盖板及一顶盖，该盖板包括一对齐该顶部开口的中空部及一穿过该盖板的管路开口，该第二气体管路设置于该顶盖且包括一出口端及一入口端，该入口端与该管路开口连接，该出口端与该中空部及该工艺空间连接。
本实用新型电浆辅助化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种电浆辅助化学气相沉积设备，其特征在于，包括： 一反应腔，包括一本体、一凹陷地形成于该本体的一上表面的工艺空间及一连接于该工艺空间上方的顶部开口； 一或多个设置于该本体的第一气体管路，该第一气体管路的一上游端连接至一或多个气体源，且该第一气体管路分别包括一位于该本体之中的埋入部分及一与该埋入部分连接且突出于该本体的该上表面的突出部分； 一可移动地位于该本体上的上盖组件，该上盖组件包括一盖板及一位于该盖板之上的顶盖，该盖板包括一对齐该顶部开口的中空部及一或多个穿过该盖板的管路开口；以及 一或多个设置于该顶盖的第二气体管路，分别包括一出口端及一入口端，该入口端相邻于该管路开口且与该管路开口连接，该出口端相邻于该中空部且与该中空部及该工艺空间连接； 其中，当该上盖组件相对该反应腔为阖上时，该第一气体管路的该突出部分插设于该上盖组件的该盖板的该管路开口之中，从而与该顶盖的该第二气体管路的该入口端流体地连接，以将来自于该气体源的工艺气体经该第一气体管路与该第二气体管路导引至该工艺空间。
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