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南京理工大学李强获国家专利权

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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种双流道分区水冷屏和单晶生长装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223373298U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422844639.X,技术领域涉及:C30B15/00;该实用新型一种双流道分区水冷屏和单晶生长装置是由李强;刘佳;刘锋设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种双流道分区水冷屏和单晶生长装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种双流道分区水冷屏和单晶生长装置,属于单晶生长设备领域。所述水冷屏包括:进水口和出水口设置于上底板边缘;上底板、下底板、内锥桶和外锥桶形成的降温拉拔空间中的下部设置有第一组环形流道,上部设置有第二组环形流道;第一组环形流道的最下层流道与第一进水管连通,最上层流道与第一出水管连通;第二组环形流道的最下层流道与第二进水管连通,最上层流道与第二出水管连通;内锥桶的内壁低于h的部分作为第一内壁,高于h的部分作为第二内壁,第一内壁为厚度渐变结构,最下端厚度为最上端的50‑80%;外锥桶外壁及下底板作为外壁,为中空结构。本实用新型降低了生产能耗,提高了温度可控性,提高了生产成品率和生产效率。

本实用新型一种双流道分区水冷屏和单晶生长装置在权利要求书中公布了:1.一种双流道分区水冷屏,其特征在于,所述水冷屏包括上底板21、下底板22、内锥桶23、外锥桶24、进水口25、第一进水管251、第二进水管252、出水口26、第一出水管261、第二出水管262、第一组环形流道27和第二组环形流道28;其中, 所述进水口25和出水口26设置于上底板21边缘;进水口25与第一进水管251和第二进水管252连通;出水口26与第一出水管261和第二出水管262连通; 上底板21、下底板22、内锥桶23和外锥桶24形成单晶的降温拉拔空间;在降温拉拔空间中的低于h的下部区域设置有第一组环形流道27,高于h的上部区域设置有第二组环形流道28;第一组环形流道27的最下层流道与第一进水管251连通,最上层流道与第一出水管261连通;第二组环形流道28的最下层流道与第二进水管252连通,最上层流道与第二出水管262连通;所述h为单晶棒降温分界点; 所述内锥桶23的内壁低于h的部分作为第一内壁71,高于h的部分作为第二内壁72,第一内壁71为厚度渐变结构,由上到下逐渐变薄,且最下端厚度为最上端厚度的50-80%;外锥桶24的外壁及下底板22作为外壁73;所述外壁73为中空结构,包括外壁内层731、外壁空气隔层732和外壁外层733。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京理工大学,其通讯地址为:210014 江苏省南京市孝陵卫街道孝陵卫街200号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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