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苏州吉才智能科技有限公司王军才获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州吉才智能科技有限公司申请的专利一种晶圆自动倒片机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223378142U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422818888.1,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆自动倒片机是由王军才设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆自动倒片机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆自动倒片机,包括工作台、晶圆上下料盒组件、取料组件、承载组件、移栽组件、拉料组件以及上下料盘组件,所述晶圆上下料盒组件、取料组件、承载组件、移栽组件以及上下料盘组件顺序设置于工作台上。本实用新型可实现晶圆的自动化上下料移栽,保证移栽精度,提高移栽效率,且可实现往复式移栽上下料,提高适用范围。

本实用新型一种晶圆自动倒片机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆自动倒片机,其特征在于,包括工作台、晶圆上下料盒组件、取料组件、承载组件、移栽组件、拉料组件以及上下料盘组件,所述晶圆上下料盒组件、取料组件、承载组件、移栽组件以及上下料盘组件顺序设置于工作台上,所述晶圆上下料盒组件包括安装架、定位座、料盒、上料按钮及压紧气缸,所述安装架呈上下两层的圆弧形结构设置,所述定位座设置于下层安装架上,所述料盒设置于定位座上,所述上料按钮设置于定位座一侧,所述压紧气缸设置于上层安装架上且驱动端朝下与料盒顶部固定,所述取料组件包括第一Z轴直线模组、中空旋转平台、取料台、伸缩取料模组和第一插手,所述第一Z轴直线模组设置于安装架圆弧形结构的凹面侧并位于工作台下方,所述取料台水平分布且呈横向贯穿的中空结构设置,所述取料台底部通过水平分布的中空旋转平台设置在第一Z轴直线模组的顶部,所述伸缩取料模组水平分布在取料台内并对应驱动水平分布的第一插手,所述承载组件包括承载架、限位块、定位块和纠偏气缸,所述承载架固定在工作台上表面,所述限位块间隔分布设置有两个,且两限位块的相对侧设置有圆弧形的凹面,所述定位块设置于两限位块之间,所述定位块上设置有负压吸附孔,所述纠偏气缸横向设置有两个并相对固定在两限位块的外侧面,所述移栽组件包括Y轴直线模组、移栽台、第二Z轴直线模组、顶升座、顶升同步气缸、顶升板、负压吸附架、第三Z轴直线模组、第一X轴直线模组以及第二插手,所述移栽台呈中空结构设置且顶部设置为开口,所述移栽台顶部在X轴方向设置有滑道,所述移栽台底部通过Y轴直线模组固定在工作台上,所述第二Z轴直线模组固定在移栽台底部且驱动端设置有位于移栽台内的顶升座,所述顶升座顶部设置有纵向分布的顶升同步气缸,所述顶升同步气缸的顶部在Y轴方向设置有水平分布的顶升板,所述顶升板顶部设置有负压吸附架,所述第一X轴直线模组通过支架固定在工作台上方,所述第一X轴直线模组的驱动端设置有第三Z轴直线模组,所述第三Z轴直线模组的驱动端设置有水平分布的第二插手,所述拉料组件包括第二X轴直线模组、顶升取料气缸、取料板和钩爪,所述第二X轴直线模组固定在移栽台一侧,所述顶升取料气缸纵向固定在第二X轴直线模组的驱动端且顶部朝上设置有水平分布的取料板,所述取料板在上下料盘组件一侧设置有朝下分布的钩爪,所述上下料盘组件包括第四Z轴直线模组、料仓和料板,所述第四Z轴直线模组固定在工作台上,所述料仓固定在第四Z轴直线模组顶部的驱动端,所述料仓在X轴方向贯穿设置,所述料板水平分布设置有多个,多个料板纵向间隔水平分布在料仓内,所述料板表面设置有多个下凹的定位槽,任一所述定位槽内设置有多个定位孔与负压吸附架对应,所述料板在钩爪一侧设置有勾孔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州吉才智能科技有限公司,其通讯地址为:215151 江苏省苏州市高新区浒杨路46号2幢厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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