湖北星辰技术有限公司舒磊获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种砂轮修整机构及晶圆研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223369161U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422739028.9,技术领域涉及:B24B53/017;该实用新型一种砂轮修整机构及晶圆研磨装置是由舒磊设计研发完成,并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种砂轮修整机构及晶圆研磨装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种砂轮修整机构及晶圆研磨装置,涉及半导体技术领域,包括活动设置于砂轮下方的修砂板,修砂板具有远离砂轮的第一初始位置以及与砂轮接触的第一修砂位置,修砂板受驱于第一初始位置和第一修砂位置之间切换,修砂板用于在第一修砂位置对砂轮的表面粗糙度进行修整。通过对砂轮表面粗糙度的调节,修砂板去除研磨过程中形成的光滑层或钝化表面,使砂轮恢复足够的自锐性。修整后的砂轮具有一致的表面粗糙度,确保其在研磨晶圆时能够达到高效研磨的效果,避免晶圆破片或厚度超差等问题。
本实用新型一种砂轮修整机构及晶圆研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种砂轮修整机构,其特征在于,包括活动设置于砂轮50下方的修砂板10,所述修砂板10具有远离所述砂轮50的第一初始位置以及与所述砂轮50接触的第一修砂位置,所述修砂板10受驱于所述第一初始位置和所述第一修砂位置之间切换,所述修砂板10用于在所述第一修砂位置对所述砂轮50的表面粗糙度进行修整。
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