乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373222U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422727260.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型化学气相沉积设备是由周向阳设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，包括沉积室、第一电极、第二电极以及扩散板，扩散板上均匀阵列设有多个扩散孔，扩散孔包括第一孔段以及第二孔段，其中，第二孔段的孔径小于第一孔段的孔径。更加地，化学气相沉积设备还包括清洁装置，清洁装置包括升降驱动件以及多个清洁杆，升降驱动件设置于沉积室，清洁杆包括相连接的第一杆部以及第二杆部，第一杆部连接于第二杆部与升降驱动件的驱动端之间，第一杆部能够配合插接于第一孔段，第二杆部能够配合插接于第二孔段，且第二杆部的长度大于第二孔段的长度，该清洁装置能够自动对第二孔段进行清洁，以使扩散板对反应气体的扩散效果易于保持在较好的水平。
本实用新型化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备，包括沉积室、设于所述沉积室内顶部的第一电极、以及设于所述沉积室内底部的第二电极，所述第一电极包括电极本体以及设于所述电极本体与所述第二电极之间的扩散板，所述扩散板与所述电极本体之间形成间隔空间，反应气体的输入通道连通于所述间隔空间，所述扩散板上均匀阵列设有多个扩散孔，所述扩散孔包括连通于所述间隔空间的第一孔段，以及连通于所述扩散板朝向所述第二电极的一侧与所述第一孔段之间第二孔段，其中，所述第二孔段的孔径小于所述第一孔段的孔径，其特征在于，所述化学气相沉积设备还包括： 清洁装置，所述清洁装置包括升降驱动件以及多个清洁杆，所述升降驱动件设置于所述沉积室，所述清洁杆包括相连接的第一杆部以及第二杆部，所述第一杆部连接于所述第二杆部与所述升降驱动件的驱动端之间，所述第一杆部能够配合插接于所述第一孔段，所述第二杆部能够配合插接于所述第二孔段，且所述第二杆部的长度大于所述第二孔段的长度。
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