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广东凯迪微智能装备有限公司江永获国家专利权

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龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利一种玻璃基板表面粗糙化的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119409424B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411569026.8,技术领域涉及:C03C15/00;该发明授权一种玻璃基板表面粗糙化的方法是由江永;熊伟设计研发完成,并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种玻璃基板表面粗糙化的方法在说明书摘要公布了:本发明及玻璃基板领域的一种玻璃基板表面粗糙化的方法,通过将冲洗后的玻璃基板浸泡于第一浸泡KOH溶液池中进行预粗糙化处理,可初步调整玻璃基板表面的粗糙度,使其更易于接受后续的二次粗糙化处理,将第一次浸泡粗糙化的玻璃基板放置入第二浸泡KOH溶液池内进行二次粗糙化处理,并采用超声波发生器对第二浸泡KOH溶液池中的KOH溶液进行均匀扩散处理,同时,通过搅拌装置对KOH溶液进行搅拌,使第二浸泡KOH溶液池中的KOH溶液可对玻璃基板进行均匀的刻蚀,提高对玻璃基板粗糙化的刻蚀效率和质量,以及通过实时监测第二浸泡KOH溶液池的KOH溶液中空化气泡尺寸分布和硅离子浓度以调整超声波发生器,优化处理过程,增强粗糙化的效率和质量。

本发明授权一种玻璃基板表面粗糙化的方法在权利要求书中公布了:1.一种玻璃基板表面粗糙化的方法,其特征在于:所述粗糙化方法包括以下步骤: 步骤一:浸泡去除杂质,将玻璃基板浸泡于HCL浓度为3%-5%预设浓度的HCL溶液池中进行处理,去除玻璃基板表面的金属残留; 步骤二:冲洗,将经HCL溶液池浸泡处理后的玻璃基板取出,放置于第一水槽中,并进行多次循环冲洗,去除附着于玻璃基板表面的金属离子和颗粒; 步骤三:第一次预粗糙浸泡,将冲洗后的玻璃基板浸泡于KOH浓度为4%-5%的第一浸泡KOH溶液池中进行处理,对玻璃基板表面进行预粗糙化处理; 步骤四:第二次粗糙浸泡,将第一浸泡KOH溶液池中浸泡的玻璃基板取出,并将玻璃基板放置于第二浸泡KOH溶液池内进行浸泡,对玻璃基板表面进行二次粗糙化处理,采用超声波发生器对KOH溶液进行均匀扩散处理,同时通过搅拌装置对KOH溶液进行搅拌,通过实时监测KOH溶液中空化气泡尺寸分布和KOH溶液中硅离子浓度,根据监测结果调整超声波发生器参数,并将玻璃基板从KOH溶液中提出,制备第二浸泡KOH溶液池中的KOH溶液,采用质量百分比为20%-30%的KOH溶液,向第二浸泡池内的KOH溶液中添加粒径为20nm的纳米二氧化硅颗粒,并通过超声波发生器对KOH溶液进行均匀分散处理,得到均匀的混合KOH溶液,混合KOH溶液通过加热装置进行加热至85℃,采用pH计实时监测混合KOH溶液的pH值,根据监测的pH值调节混合KOH溶液的pH值至13.5±0.1; 步骤五:清洗,将二次粗糙化处理后的玻璃基板取出,放置于第二水槽中进行多次冲洗,去除残留于所述玻璃基板表面的KOH溶液和粗化颗粒; 步骤六:干燥,将冲洗后的玻璃基板放置于含有异丙醇的容纳槽内中,通过马兰戈尼效应对玻璃基板进行干燥处理,完成所述玻璃基板表面的粗糙化。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东凯迪微智能装备有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市大朗镇大朗富通路330号6栋302室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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