广东凯迪微智能装备有限公司江永获国家专利权
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龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利载板表面有机胶残留清洗方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119426260B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411569025.3,技术领域涉及:B08B3/08;该发明授权载板表面有机胶残留清洗方法是由江永;熊伟设计研发完成,并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本载板表面有机胶残留清洗方法在说明书摘要公布了:本申请提供载板表面有机胶残留清洗方法,该方法包括以下步骤:采用载板表面清洁度在线监测装置实时采集清洗过程中的表面清洁度数据,通过算法实时分析清洁度变化趋势,动态调整所述浸泡、震荡和冲洗处理参数和循环路径,自适应优化清洗方案,并预测清洗终点;在所述水槽中部署胶粒团聚程度分析仪,实时监测胶粒的团聚状态数据,通过算法模型分析团聚状态与水质参数的关联性,动态调节超纯水的pH值和离子强度,优化水质环境,抑制胶粒再沉积。
本发明授权载板表面有机胶残留清洗方法在权利要求书中公布了:1.载板表面有机胶残留清洗方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: S101,获取载板表面有机胶残留量和材质尺寸特性数据,通过算法模型选择和参数设置,确定剥离液浸泡顺序和时长组合,得到多步骤浸泡处理方案,浸泡过程在符合洁净度等级要求的无尘区间内进行,采用空气过滤装置和防静电措施,确保环境洁净度; S102,根据载板的尺寸和材质特性数据,通过算法模型训练和评估,获取超声波震荡频率和持续时间参数,将载板在水平方向上交错排列,垂直方向上进行旋转,形成震荡布置方式,震荡过程严格控制无尘区间的温湿度条件; S103,根据载板表面积和残留胶量数据,通过算法模型迭代优化,得到超纯水溢流和喷淋参数组合,包括流速、压力和角度,将载板在水槽中进行倾斜放置和多层垂直间隔,形成水流布置方式,冲洗过程通过尘埃粒子监测和表面清洁验证,实时评估清洗效果; S104,采用载板表面清洁度在线监测装置实时采集清洗过程中的表面清洁度数据,通过算法实时分析清洁度变化趋势,动态调整浸泡、震荡和冲洗处理参数和循环路径,自适应优化清洗方案,并预测清洗终点; S105,在水槽中部署胶粒团聚程度分析仪,实时监测胶粒的团聚状态数据,通过算法模型分析团聚状态与水质参数的关联性,动态调节超纯水的pH值和离子强度,优化水质环境,抑制胶粒再沉积; S106,采用颗粒去除能力评估装置针对不同尺寸的颗粒,评估各粒径段的去除效率,通过算法分析去除效率与过滤精度和水流速度的关系,动态调整过滤装置的技术参数,并优化水平布置间距和交错排列方式,形成与胶粒团聚程度相适应的颗粒去除工艺。
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