泰科天润半导体科技(北京)有限公司何佳获国家专利权
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龙图腾网获悉泰科天润半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种准超结平面栅碳化硅VDMOS获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223379520U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422682380.3,技术领域涉及:H10D30/66;该实用新型一种准超结平面栅碳化硅VDMOS是由何佳;施广彦;李昀佶;陈彤;张长沙设计研发完成,并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种准超结平面栅碳化硅VDMOS在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种准超结平面栅碳化硅VDMOS,漂移层下侧面连接至碳化硅衬底上侧面,漂移层下部设有多个N型体区;漂移层上部设有多个P型扩散区,每个N型体区下侧面连接至碳化硅衬底上侧面,漂移层上设有凸起部,凸起部内设有均流层;P型阱区下侧面连接至漂移层上侧面以及P型扩散区上侧面,P型阱区内侧面连接至凸起部外侧面;P型阱区内设有N型源区;栅介质层分别连接P型阱区、漂移层以及均流层;栅极金属层连接至栅介质层;源极金属层分别连接P型阱区以及N型源区;漏极金属层连接至碳化硅衬底下侧面,在器件内部构建了准超结结构以及均流层,可以有效提高器件的耐压能力、栅极可靠性和导通能力。
本实用新型一种准超结平面栅碳化硅VDMOS在权利要求书中公布了:1.一种准超结平面栅碳化硅VDMOS,其特征在于:包括: 碳化硅衬底, 漂移层,所述漂移层下侧面连接至所述碳化硅衬底上侧面,所述漂移层下部设有多个N型体区;所述漂移层上部设有多个P型扩散区,每个所述N型体区下侧面连接至所述碳化硅衬底上侧面,所述漂移层上设有凸起部,所述凸起部内设有均流层; P型阱区,所述P型阱区下侧面连接至所述漂移层上侧面以及P型扩散区上侧面,所述P型阱区内侧面连接至所述凸起部外侧面;所述P型阱区内设有N型源区; 栅介质层,所述栅介质层分别连接所述P型阱区、漂移层以及均流层; 栅极金属层,所述栅极金属层连接至所述栅介质层; 源极金属层,所述源极金属层分别连接所述P型阱区以及N型源区; 以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至碳化硅衬底下侧面。
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