视拓(苏州)工业自动化有限公司惠洁获国家专利权
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龙图腾网获悉视拓(苏州)工业自动化有限公司申请的专利一种高效的晶圆片质量检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223367558U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422662631.1,技术领域涉及:B07C5/16;该实用新型一种高效的晶圆片质量检测装置是由惠洁;李硕硕;张永帅;胡浩;顾云龙设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效的晶圆片质量检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种高效的晶圆片质量检测装置,其涉及晶圆片质量检测技术领域,旨在解决现有的质量检测装置在进行流水式多工位同步检测上存在不足,整体的检测效率有待提高的问题,其技术方案要点包括支撑架,所述支撑架的上端固定安装有皮带输送机,两个所述皮带输送机之间设置有基台,且基台的上表面上固定安装有直线模组,所述直线模组的移动端固定连接有联动座,所述联动座的对称侧表面上分别固定连接有一个承托板,所述承托板的上表面上固定安装有称重传感器,所述称重传感器的检测端固定连接有称重座,所述皮带输送机的外表面上固定安装有多个移动座。达到了能进行流水式多工位同步检测操作,检测效率高的效果。
本实用新型一种高效的晶圆片质量检测装置在权利要求书中公布了:1.一种高效的晶圆片质量检测装置,包括支撑架1,其特征在于:所述支撑架1的上端固定安装有皮带输送机2,两个所述皮带输送机2之间设置有基台,且基台的上表面上固定安装有直线模组4,所述直线模组4的移动端固定连接有联动座7,所述联动座7的对称侧表面上分别固定连接有一个承托板8,所述承托板8的上表面上固定安装有称重传感器9,所述称重传感器9的检测端固定连接有称重座10。
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