安徽创谱仪器科技有限公司李朝阳获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽创谱仪器科技有限公司申请的专利镜箱清洗系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223367740U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422627772.X,技术领域涉及:B08B7/00;该实用新型镜箱清洗系统是由李朝阳;王超设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本镜箱清洗系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种镜箱清洗系统。其中,镜箱清洗系统包括镜箱和电极,所述镜箱具有腔室,所述镜箱设有与所述腔室连通的进气口和真空抽气口;所述电极设于所述腔室内,所述电极与射频源相连,所述进气口与气源相连,所述进气口用于向所述腔室通入工作气体,所述电极用于电离所述工作气体以产生等离子体,所述等离子体用于清除所述腔室内的含碳有机物,所述真空抽气口与真空源相连,所述真空抽气口用于抽离所述腔室内气体。本实用新型可以更好地清除镜箱的腔室中的含碳有机物,获得更加洁净的真空腔室。
本实用新型镜箱清洗系统在权利要求书中公布了:1.一种镜箱清洗系统,其特征在于,包括: 镜箱10,所述镜箱10具有腔室101,所述镜箱10设有与所述腔室101连通的进气口102和真空抽气口103; 电极20,所述电极20设于所述腔室101内,所述电极20与射频源30相连,所述进气口102与气源80相连,所述进气口102用于向所述腔室101通入工作气体,所述电极20用于电离所述工作气体以产生等离子体,所述等离子体用于清除所述腔室101内的含碳有机物,所述真空抽气口103与真空源40相连,所述真空抽气口103用于抽离所述腔室101内气体。
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