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龙图腾网获悉无锡臻泰半导体科技有限公司申请的专利一种半导体清洗机用夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223378152U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422615706.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种半导体清洗机用夹持装置是由李金豹;诸叙东设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体清洗机用夹持装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体清洗机用夹持装置，包括集液箱和支撑框架，所述集液箱的顶端安装有支撑框架，所述支撑框架的内部设置有集成框架，所述集成框架的内部活动安装有活动环，所述活动环的侧壁上安装有限位槽，所述限位槽周围的集成框架内部活动安装有等间距的四组限位轮，且限位轮与限位槽滑动连接，所述活动环的一侧安装有等间距的四组夹持气缸，所述活动环的另一侧安装有齿环。本实用新型不仅实现了便捷的多组联动对中柔性夹持固定半导体晶圆和便捷的圆周转动风干半导体晶圆，方便了对半导体晶圆进行移动调整清洗和增加晶圆片与气体的接触面积，而且提高了夹持固定的便利性以及风干的速度和效果。

本实用新型一种半导体清洗机用夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗机用夹持装置，包括集液箱1和支撑框架2，其特征在于：所述集液箱1的顶端安装有支撑框架2，所述支撑框架2的内部设置有集成框架6，所述集成框架6的内部活动安装有活动环18，所述活动环18的侧壁上安装有限位槽21，所述限位槽21周围的集成框架6内部活动安装有等间距的四组限位轮22，且限位轮22与限位槽21滑动连接，所述活动环18的一侧安装有等间距的四组夹持气缸23，所述活动环18的另一侧安装有齿环17，所述齿环17一侧的集成框架6内部安装有防水电机19，所述防水电机19的输出端安装有驱动齿轮20，且驱动齿轮20与齿环17相互啮合，所述夹持气缸23的输出端皆安装有夹持推臂24，所述夹持推臂24远离夹持气缸23的一端皆安装有夹持框架25，所述夹持框架25的内部皆滑动安装有夹持块26，所述夹持块26的一侧皆安装有等间距的多组弹簧9，且弹簧9与夹持框架25相连接，所述支撑框架2的内壁上对称安装有气管5，所述气管5的侧壁上皆安装有等间距的多组气孔8。

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