湖南元芯传感科技有限责任公司薛佳乐获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南元芯传感科技有限责任公司申请的专利一种基于微加工技术的半导体气体传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223377247U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422597245.9,技术领域涉及:G01N27/12;该实用新型一种基于微加工技术的半导体气体传感器是由薛佳乐设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于微加工技术的半导体气体传感器在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种基于微加工技术的半导体气体传感器,包括:第一绝缘层;设置于第一绝缘层上方的加热电极层;设置于加热电极层上方的第二绝缘层;第二绝缘层上设有焊线通过的开口结构;设置于第二绝缘层上方的测量电极层;设置于测量电极层上方的金电极层;设置于金电极层上方的为敏感材料层。本实用新型提供的基于微加工技术的半导体气体传感器,相较于现有技术而言,敏感材料层与加热电极层位于同一侧,所得图案精度更高,器件与敏感材料的一致性更好,敏感材料的利用率更高,生产成本更低,加热层材料性能更稳定,气体传感器性能更好。
本实用新型一种基于微加工技术的半导体气体传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于微加工技术的半导体气体传感器,其特征在于,包括: 第一绝缘层1; 设置于所述第一绝缘层1上方的加热电极层2; 设置于所述加热电极层2上方的第二绝缘层3,所述第二绝缘层3上设有焊线通过的开口结构; 设置于所述第二绝缘层3上方的测量电极层4; 设置于所述测量电极层4上方的金电极层5; 设置于所述金电极层5上方的为敏感材料层6。
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