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龙图腾网获悉拓思精工科技(苏州)有限公司申请的专利全自动晶圆清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480698B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411499306.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权全自动晶圆清洗机是由惠二援;宋昌万;孔玉朋;蒋君;陈传磊设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本全自动晶圆清洗机在说明书摘要公布了：本发明涉及的全自动晶圆清洗机，其包括，机架；供料单元，其用于供应晶圆；夹紧单元，其包括绕着晶圆周向分布的多个夹轮、动力部件；清洗单元，其包括分别设置在晶圆上方和下方的上刷洗部件和下刷洗部件、用于向晶圆上表面和下表面喷淋清洗液的喷淋部件；干燥单元，其用于晶圆的干燥；转载机械手，其用于逐片转载晶圆。本发明一方面基于第一、二夹轮组的配合，并在等距移动下实现对不同规格的晶圆的夹紧或松开，结构简单，能够有效提升设备的空间利用率，同时能够有效提高晶圆的装卸效率；另一方面通过上、下刷洗部件的运动，能够对夹紧在任意夹紧区内的晶圆进行同步刷洗，确保晶圆上下面的刷洗效果，满足不同规格晶圆的刷洗需求。

本发明授权全自动晶圆清洗机在权利要求书中公布了：1.一种全自动晶圆清洗机，其包括， 机架； 供料单元，其用于供应晶圆； 夹紧单元，其包括绕着晶圆周向分布的多个夹轮、动力部件； 清洗单元，其包括分别设置在晶圆上方和下方的上刷洗部件和下刷洗部件、用于向晶圆上表面和下表面喷淋清洗液的喷淋部件； 干燥单元，其用于晶圆的干燥； 转载机械手，其用于在所述供料单元、夹紧单元、清洗单元以及干燥单元之间逐片转载晶圆， 其特征在于，所述多个夹轮划分为位于晶圆相对两侧的第一夹轮组和第二夹轮组，其中第一夹轮组和第二夹轮组中的各所述夹轮分别同步且同向运动，所述第一夹轮组和第二夹轮组能够相向靠近或远离运动以形成夹紧晶圆的第一位置或者释放晶圆的第二位置，处于第一位置时，所述第一夹轮组和第二夹轮组之间形成自上而下逐层分布的多个夹紧区，其中所述多个夹紧区的直径自上而下逐级变小或变大设置，不同直径的晶圆能够同步夹紧在对应的所述夹紧区内； 所述清洗单元还包括连接在所述上刷洗部件和下刷洗部件之间且竖直延伸的同步轴、驱动所述上刷洗部件和下刷洗部件绕着所述同步轴的中心线转动的旋转驱动部件、驱动所述上刷洗部件和或下刷洗部件沿着所述同步轴上下运动的升降驱动部件，任意晶圆夹紧在对应的所述夹紧区内时，所述上刷洗部件和下刷洗部件之间形成与所述晶圆相匹配的刷洗区域。

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