上海积塔半导体有限公司陈江卡获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利载盘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223377234U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422595759.0，技术领域涉及：G01N23/2204；该实用新型载盘装置是由陈江卡;张志航;伏星;罗俊一;董伟淳设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本载盘装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及载盘装置，涉及半导体制造技术领域，该载盘装置包括载盘，在载盘上设置有沿载盘直径方向上延伸的凹槽，该凹槽用于放置样品，在载盘上侧还设置有固定装置，固定装置包括相对设置的第一固定组件与第二固定组件，第一固定组件与第二固定组件分别位于凹槽的两侧，并相互配合夹持固定样品。将样品放置在凹槽中，不仅可以先让竖直的样品初步固定，而且还可以降低样品的高度，让样品可以放入检测仪器。此外设置相对设置的第一固定组件与第二固定组件，可以将凹槽中的样品从两侧夹持卡紧，保证竖直设置的样品固定稳定，不发生倾斜。
本实用新型载盘装置在权利要求书中公布了：1.一种载盘装置，其特征在于，包括： 载盘，所述载盘包括凹槽，所述凹槽沿所述载盘直径方向上延伸，所述凹槽用于放置样品； 位于所述载盘上侧的固定装置，所述固定装置包括相对设置的第一固定组件与第二固定组件，所述第一固定组件与所述第二固定组件分别位于所述凹槽的两侧，且所述第一固定组件与所述第二固定组件用于相互配合夹持固定所述样品。
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