大连皓宇电子科技有限公司王正国获国家专利权
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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利应用在晶圆加热基座中的盘管获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373228U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422540519.0，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型应用在晶圆加热基座中的盘管是由王正国;付佳明;李玉慧设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本应用在晶圆加热基座中的盘管在说明书摘要公布了：本实用新型公开了应用在晶圆加热基座中的盘管，涉及半导体设备技术领域；包括一根加热管体盘绕而成的加热盘和引线管，在加热盘中内置有电阻丝，在引线管中内置有电阻丝导线；所述加热盘包括对称设置的第一弧形部、对称设置的第二弧形部和具有开口结构的环形部，所述第二弧形部位于第一弧形部内侧且两者通过第一弯折部相连，第一弯折部之间具有第一间距；所述环形部通过第二弯折部分别与第二弧形部相连，第二弯折部之间具有第二间距，所述第二间距大于第一间距。通过本申请的盘管能使加热丝呈圆环形盘绕，更充分地利用电能转化为热能，使得加热过程更加高效。这种设计有助于快速达到所需的加热温度，从而缩短晶圆加热处理的时间，提高生产效率。
本实用新型应用在晶圆加热基座中的盘管在权利要求书中公布了：1.应用在晶圆加热基座中的盘管，其特征在于，包括一根加热管体盘绕而成的加热盘和引线管，在加热盘中内置有电阻丝，在引线管中内置有电阻丝导线；所述加热盘包括对称设置的第一弧形部、对称设置的第二弧形部和具有开口结构的环形部，所述第二弧形部位于第一弧形部内侧且两者通过第一弯折部相连，第一弯折部之间具有第一间距；所述环形部通过第二弯折部分别与第二弧形部相连，第二弯折部之间具有第二间距，所述第二间距大于第一间距。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人大连皓宇电子科技有限公司，其通讯地址为：116602 辽宁省大连市中国(辽宁)自由贸易试验区大连保税区海兴街60-2号1571室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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