湖北江城芯片中试服务有限公司应程获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北江城芯片中试服务有限公司申请的专利衬底处理装置及衬底测温组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223373209U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422522475.9，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型衬底处理装置及衬底测温组件是由应程;王坤;方万一;王成宏设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及衬底测温组件在说明书摘要公布了：本申请涉及一种衬底处理装置及衬底测温组件，衬底测温组件包括待测件及测温器件。待测件用于放置于衬底处理装置的支撑座上，待测件包括衬底模拟件以及设置于衬底模拟件的表面上的辐射层。测温器件包括至少一个红外测温仪，测温器件用于获取辐射层的多个不同位置处的温度。通过测温器件对待测件进行测温处理，根据待测件的多个不同位置处的温度，进而能作为衬底表面各个部位的温度是否均匀一致的依据。如此无需开腔操作，便能实时自动检测衬底表面的温度是否均匀一致，使得生产效率提高；此外，辐射层具有较高的热辐射能力，这样红外测温仪能精准地感应到各个侦测点处的温度，温度测量精度较高，能进一步提高衬底的薄膜沉积质量。
本实用新型衬底处理装置及衬底测温组件在权利要求书中公布了：1.一种衬底测温组件，其特征在于，所述衬底测温组件包括： 待测件，所述待测件用于放置于衬底处理装置的支撑座上，所述待测件包括衬底模拟件以及设置于所述衬底模拟件的表面上的辐射层；及 测温器件，所述测温器件包括至少一个红外测温仪，所述测温器件与所述待测件位置相对设置，所述测温器件用于获取所述辐射层的多个不同位置处的温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北江城芯片中试服务有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷一路227号3号楼3号(自贸区武汉片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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